웨이퍼 가열판 / 모듈 (사용자 정의)

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개요

웨이퍼 가열판, 웨이퍼 가열모듈 (맞춤형) 은 반도체 제조 과정에서 매우 중요하다. 특히 일부 관건적인 공정 중, 예를 들면 웨이퍼 퇴화, 키합, 균일 접착제, 각식, 기상 침적 등은 안정적인 온도장 환경과 정밀한 디스크 균일 온도를 제공할 수 있으며, 웨이퍼가 각종 온도 구역에서의 가열 요구를 확보함으로써 반도체 부품의 제조와 연구 개발을 실현할 수 있다.

제품 정보

웨이퍼 가열 시스템, 급속 퇴화로, 고저온 시험함 등 온도 제어 기술, 제자리 역학 기술 등과 관련된 제품은 고객에게 개성화된 맞춤형을 제공할 수 있다.

과일 기기 웨이퍼 가열 모듈:반도체 제조 과정 중 매우 중요한데, 특히 일부 핵심 공정 중, 예를 들면 웨이퍼 퇴화, 결합, 균일 접착제, 각식, 기상 침적 등, 그것은 안정된 온장 환경 및 정밀한 판면 균일 온도를 제공할 수 있으며, 웨이퍼가 각종 온도 구역에서의 가열 요구를 확보함으로써 반도체 부품의 제조와 연구 개발을 실현할 수 있다.

晶圆加热盘/模组（定制）

웨이퍼 가열 모듈 (사용자 정의)특징:

• 온도 범위: RT~600℃

• 온도 안정성: ±0.1 ℃

• 소재: 알루미늄합금, 스테인리스강, 인와합금 등

• 고정밀 온도 조절

• 전문 온도 제어 소프트웨어

• 맞춤형 구성 지원

매개변수:

모델	웨이퍼 가열 모듈 (사용자 정의)
치수	2 / 4 / 6 / 8 / 10 / 12형
온도 범위	RT ~ 600 ℃
온도 안정성	±0.1℃
소재	알루미늄합금, 스테인리스강, 인와합금 등
평면도	≤10um，3um 도달 가능, 재료 관련
적용 환경	분위기 / 진공
냉각 시스템	옵션: 물 냉각, 공기 냉각 등
결합 압력	옵션: 0~100kN

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