균일 접착제 코팅기

균일 접착제 코팅기WS-650는고속으로 회전하는 기판에 각종 접착제를 주입하고 원심력을 리용하여 접착제를 균일하게 기판에 코팅하면 회전속도 및 시간, 접착제와 기편간의 점착계수는 모두 성막의 두께에 영향을 주고 회전과정 및 회전시스템의 안정성은 성막의 질에도 비교적 큰 영향을 준다.

1. 샘플 크기:3~300mm

2. 가속도: 80000rpm/s(공부하), 30000rpm/s(부하: 100mm 표준 웨이퍼)

3. 회전 속도: 1 ~ 1200rpm, 서보 모터 해상도 4000P/rev

4. 회전 방향: Hz형 모터 옵션, 회전 방향 양방향 조정 가능

5.CDA/N2 공기 흐름 보호 기술

6. 자동 드롭 모듈(옵션), EBR 웨이퍼 모서리 제거 모듈

7. 다양한 소재의 견본을 위한 다양한 트레이 옵션

균일 접착제 코팅기트레이 솔루션

1. 일반 진공 트레이: 10~150mm 교체 불필요.

2.내장형: 트레이 중부에 원형 홈을 만들고, 샘플을 내장하여 샘플의 두께가 너무 커서 가스 와류 효과를 일으키지 않도록 할 수 있다.

3.벌집식: 초박형 변형 연질 재료와 깨지기 쉬운 재료에 적용.

4.카드 트레이: 진공 흡착이 불가능한 샘플이나 양면 모두 처리해야 하는 샘플에 적용됩니다. 왜냐하면 고정할 때 트레이와의 접촉 면적을 최대한 줄여야 하기 때문입니다. 카드 트레이를 사용할 수도 있습니다. 카드 트레이를 사용할 때 회전 속도가 너무 높으면 안 됩니다.