Thermo Scientific™ Apreo ChemiSEM™필드 송신 렌즈는 고성능과 고품질 영상이 우수하다.요소 구성 요소와 구조 분석이 통합된 자동 워크플로우를 통해 다양한 경험의 사용자가 고품질 데이터를 쉽게 얻을 수 있습니다.

Apreo ChemiSEM은 대규모 연구 기관 및 산업 고객에게 다양한 샘플 및 다양한 경험 수준의 사용자를 위한전체통합 분석 기술과 전체 분석 결과.사용자와 다양한 샘플 유형을 사용하는 여러 다기능 실험실의 경우, 이 시스템의 새로운 스마트 프레임 포인트 (SFI), 자동 초점 및 자동 소상산 기능은 수동 조절 없이 자동으로 이미지 수집 매개변수를 최적화하고 데이터를 수집합니다.이 시스템은 항상 상태를 유지하며 언제든지 이미지를 만들 수 있으므로 사용자가 필요한 데이터를 얻는 데 더 많은 시간을 집중할 수 있습니다.

ChemiPhase를 사용하여 강재 중의 복합 혼합물을 서로 분석한다.ChemiPhase는 각종 혼합물을 효과적으로 감정하여 각종 혼합물의 성분과 면적점수를 얻을수 있으며 또 예기치 못한 상을 쉽게 탐지할수 있어 한번의 분석을 통해 완전한 정보를 추출할수 있다.

주요 특징

고해상도 이미징 성능：Thermo Scientific™ Trinity™ 탐지 검측 시스템 및 자동화 기술은 각종 응용 중의 데이터 수집 작업을 간소화할 수 있다

* 최적화된 분석 솔루션: TrueSightPro EDS 탐지기, ChemiSEM 기술 및 TruePix EBSD 탐지기는 샘플을 완전하고 포괄적으로 표현합니다.

통합 워크플로우: MAPS 소프트웨어, 사용자 지정 스크립트 및 CleanConnect 호환™，호환성을 통해 분석 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다.

Apreo ChemiSEM 시스템은 운영을 단순화하고 결과의 신뢰성을 보장하는 세 가지 * 기능을 통합합니다. Thermo Scientic™ ChemiSEM ™ 기술, 새로운 TruePix 백산란 전자 회절기(EBSD) 및 독특한 Thermo Scientic™Trinity ™ 렌즈 내 탐지 시스템.

ChemiSEM 기술은 전자동 실시간 정량 알고리즘을 이용하여 이미징만으로 알아볼 수 없는 특징을 나타내어 샘플에 더 완전한 정보를 제공한다.이 기능은 언제든지 실행할 수 있고 사용하기 쉬우며 결과를 더 빠르게 제공하여 사용자 편차를 없애는 데 도움이 됩니다.

TruePix EBSD 탐지기는 Apreo ChemiSEM 시스템과 함께 작동하여 적용 범위를 넓힐 수 있습니다.새로운 EBSD 소프트웨어는 이 탐지기를 제어하여 사용자가 매개변수 설정, 데이터 수집 및 데이터 처리를 완료하도록 유도할 수 있습니다.

Trinity 렌즈 내 탐지 시스템은 ETD 또는 BSD 탐지기를 사용하지 않고도 고품질의 형태, 극표면 및 성분 정보를 동시에 수집할 수 있습니다.

1kV 전압에서 전자빔 감속 없이 0.9nm의 ZUI 고해상도를 얻을 수 있는 독특한 신호 필터 옵션을 갖추고 있다.

Apreo ChemiSEM 시스템은 고해상도 이미징, 요소 분석 및 구조 분석을 결합하여 사용자에게 다양한 유형의 재료를 분석하는 강력한 도구를 제공합니다.

전자광학

• 고해상도 필드 발사 SEM 렌즈는 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.

- 고안정 쇼트키장 발사총, 안정적인 고해상도 분석 빔 제공

- 복합 말단 렌즈, 정전기 렌즈, 누수 없는 자기 렌즈 및 침몰식 자기 렌즈 조합(옵션)

- 대용량 샘플 기울기를 허용하는 60° 대물렌즈 형상 구조

- 자체 가열 광맹으로 청결도 확보, 무접촉식 광맹 전환

• SmartAlign 기술: 사용자 대중 불필요

• 저진공 모드(옵션)에서 렌즈 차분으로 진공을 뽑아 스커트 효과를 줄여 정확한 분석 및 ZUI 고해상도 이미징 실현

• 전자빔 감속 기능, 샘플대 편압 범위 -4000V ~ +600V

• 빔의 연속 변화, 공경 각질 최적화

• 이중 샘플대 스캔 편향

• 간단한 전자총 설치 및 유지 관리: 자동 굽기, 자동 작동, 기계적 조준 불필요

• PivotBeam 모드, 선택 영역 전자 채널 라이닝 이미징을 위한 "흔들기 전자빔" 모드라고도 합니다 (Apreo ChemiSEM S형에만 해당).

• ZUI 짧은 필라멘트 수명: 36개월

ChemiSEM 기술

• TrueSight；탐지기 크기: 25 또는 70mm²

• 에너지 해상도 최대 125 eV @ MnΚα₁

• 요소 탐지 범위는 Be-AM

• 경원소 감도는 실리콘(Si Lα)까지 탐지 가능

단일 사용자 인터페이스에 SEM-EDS 기능 통합

• 프로젝트 기반 데이터 저장소

• 프로젝트 데이터 트리를 통한 간편한 데이터 관리

• 업계 표준 데이터 형식

• 점, 선 및 면 스캔 모드 간의 원활한 통합을 위한 전용 분석 모드

• xT SEM 사용자 인터페이스에서 사용 가능한 전자 이미지 유형 선택

• 클릭 한 번으로 보고서 생성

• 화봉 및 탈출봉 제거

• 자동 스펙트럼 피크 인식

• 합성봉과 등바닥 중첩

• 광범위한 작업 거리, 빔 흐름 및 빔 에너지 범위에서 정확한 측정

• 누락된 요소를 포함, 제외 또는 정량적으로 선택하도록 정의할 수 있습니다.

• 정량 분석을 위해 자동으로 또는 사용자 정의 선택 KLM 라인

• 디지털 필터를 통한 백플레인 제거

• ZUI 소2 곱하기 필터법 의합을 통한 무표식 정량 분석

• PROZA 베이스 보정법을 사용하여 우수한 경량 요소 정량

• 일정 시간 또는 카운트로 테스트를 중지할 수 있는 정성 및 정량선 스캔

• ChemiSEM 기술, 전자 이미지 알고리즘과 결합한 빠른 면 정량

• 정량면 스캐닝이 항상 켜져 스펙트럼 피크 분리를 위한 정량면 스캐닝 제공

• 단일 요소 라인 선택을 지원하는 카운터 면 스캔

• square kernelization을 통한 정량면 스캔(옵션)

• 전자 이미지에 여러 면 스캔 이미지 중첩

• 사용자 정의 또는 요소 색상 자동 선택

• 내비게이션 몽타주를 통해 여러 뷰포트 수집 및 결합

• MAPS 소프트웨어와 호환되어 멀티뷰 자동 연결

• 점 및 사각형 상자를 사용하여 스펙트럼 추출

• 선 방향, 너비 및 점 수를 유연하게 선택하여 X-선 스캔 이미지에서 선 스캔 데이터 추출

• 다중 스펙트럼 그래프 귀일화 대비

• DCFI 기반 면 스캔의 드리프트 보정

• 화학계량법으로 붕소화물, 탄화물, 산화물 및 질소화물에 대한 화합물 분석

• ChemiPhase는 다원적 통계 분석법을 통해 실시간 또는 오프라인 상호 감정을 수행합니다.

• ChemiView를 통해 다양한 데이터 유형의 오프라인 재처리 및 보고 생성

TruePix EBSD 탐지기

• 혼합 픽셀화 직접 전자 EBSD 탐지기

• Timepix 기반 단일 모듈로 구성된 단일 탐지기

• 읽기 소음 제로, 높은 신호 백플레인 비율

• 제로 왜곡

• 단일 입자 수

• 에너지 임계값

• 2000FPS 프레임 읽기 속도

• 1분 이내에 탐지기 삽입, 보정, 패턴 최적화 및 면 스캔 자동 설정 완료

EBSD 수집 및 데이터 처리 소프트웨어

• 온라인 수집 및 오프라인 데이터 처리 시스템 통합

• 자동 무늬 최적화: 시스템은 채집 대기 지역에서 랜덤 포인트로 > 20개의 EBSP를 채집하여 양질의 백그라운드 교정을 실현한다

• ZUI 대노출량 측정: 시스템은 신호가 포화되기 전의 ZUI 대노출량을 확정하고, 노출시간이 ZUI 대노출량을 초과하면 자동 프레임 포인트

• 자동 플랫 보정 및 라이닝 향상 (추가 보정 프로그램 제공)

• 다양한 탐지기 위치, 작동 거리 및 시료 기울기 각도에 대한 꽃 중심 자동 보정

• 모든 유형의 이미지 중첩 가능

• 결정 크기 히스토그램

• 노이즈 제거 및 픽셀 향상

• 사용자 정의 템플릿 보고서

• 모든 7종 결정체 및 11종의 로어 그룹 식별

• 다중 위상 동시 지정

• 빠른 푸리엽 변환 및 패턴 라이닝 품질 지표

• 낮은 SEM 배율 패턴 센터 보정

• EBSP의 우수한 품질의 운동학적 시뮬레이션 및 중첩

• 오라투, X/Y/Z 역극도(압연, 수직, 가로), 오라 취향도, 포토그래프 및 취향 차면 스캔

진공 시스템

• 오일 없는 진공 시스템

• 1 × 240 l/s 터보 분자 펌프

• 1×PVP 터빈 펌프

• 2 × IGP

• 샘플 창고 진공도(고진공) <6.3×10-6 mbar(펌프 작업 12시간 후)

• 진공 흡입 시간: ≤ 3.5분

• 저진공 모드(챔버 압력 10-500Pa)(옵션)

• 압력제한광맹(PLA) 자동로드장치

견본대

• 표준 다기능 샘플 받침대로 샘플대에 직접 설치할 수 있으며 최대 18개의 표준 샘플 받침대(지름 12mm), 3개의 사전 기울기 샘플 받침대, 단면 샘플 받침대 및 2개의 사전 기울기 STEM 스플라인(옵션)(38° 및 90°)을 수용할 수 있습니다.설치 샘플에 도구 필요 없음

• STEM 캐리어 옵션당 6개의 STEM 캐리어 네트

• 웨이퍼 및 맞춤형 견본대(옵션)

전자빔 해상도

BD: 전자빔 감속 모드, WD: 작동 거리(별도의 지침이 없는 한 우수한 작동 거리에 따라 해상도를 제공).기본적으로 ZUI 최종 설치 후 시스템 검수 테스트 조건은 고진공 1kV 및 30kV 조건, 침수 모드 켜기 (해당되는 경우) 입니다.

전자빔 매개변수 범위

전자빔 매개변수 범위: 1pA ~ 50nA(400nA 옵션)

• 가속 전압 범위: 200V - 30kV

• 착륙 에너지 범위: 20 eV - 30 keV

• ZUI 큰 수평 시야 폭: 10mm WD에서 3mm (ZUI 작은 확대 배율: 29x)

샘플 창고

• 내부 폭: 340mm

• 분석 작업 거리: 10mm

• 포트: 12

전자빔 감속(BD)을 통해 산화마그네슘 입자를 저kV 표징(500V)한다.BD는 모양과 세부 사항을 개선하고 하전 효과를 감소시킵니다.

탐지기

Apreo ChemiSEM은 다양한 탐지기 또는 탐지기의 파티션(옵션)을 임의로 조합하여 최대 4가지 신호를 동시에 탐지할 수 있습니다.

• Trinity 탐지 시스템 (물안경 안과 안경통 안)

– T1 분할 대물렌즈 내 저위 탐지기

- T2 대물렌즈 내 중위 탐지기

– T3 렌즈 내 상위 검출기(옵션)

• TD: Everhart-Thornley 2차 전자 탐지기

• DBS: 확장 가능한 파티셔닝 극화 하부 산란 전자 탐지기(옵션)

• 저진공 2차 전자 탐지기(옵션)

• DBS-GAD: 대물렌즈에 장착된 분위기 분석 백산란 전자 탐지기(옵션)

• STEM 3+ 확장 가능한 파티셔닝 탐지기(BF, DF, HADF, HAADF)(옵션)

• 적외선 CCD

• hermo Scientifc™ Nav-Cam™ 탐색 카메라 (샘플 창고 내)