DE400DL 열저항 증발 필름 퇴적 시스템, 고진공 또는 초고진공 도금 환경, 양질의 필름 품질 및 필름 두께 균일성과 중복성.
DE400DL는열 저항 증발 박막 퇴적 시스템
1. 시스템 핵심 구성
- 도금 환경: 고진공 또는 초고진공
- 제어 시스템: PLC+PC 완전 자동 제어
- 샘플 전송: LOAD LOCK 자동 샘플 전송
- 옵션 구성: 이온 번들 세척 또는 보조 퇴적, 장갑 상자
2. 핵심 성능 이점
- 필름 품질: 우수한 필름 두께의 균일성과 반복성을 갖춘 우수한 필름
- 제어 정밀도: 고정밀 도금 속도 및 두께 제어
3. 적용 재료와 공예
- 퇴적 재료: 금속, 반도체, 미디어 재료, 유기 재료
- 박막 유형: 단층 박막, 다층 박막, 공증합금막 배치 가능
- 특수 공예: LIFT-OFF 공예 도금
- 견본대: 다양한 표준 견본대, 특수 공예 박막 제조를 위한 객제 견본대
4. 장면 적용
- 연구 개발, 중간 시험
