마이크로미터 반자동 패치모델 번호:FLO-F3
작동 유형: 반자동 회전식 조준 정밀도: ±0.5μm
기판 크기: 150mm/6인치 칩 크기: 0.1~40mm
축 미세조정: ±10°미세조정 범위: 12*12*6mm(해상도 0.5μm)
시야 범위: 0.46*0.61~5.53*7.38m㎡ 압력 범위: 0.2~30N(100N까지 옵션)
가열 온도: 350 ℃ ± 1 ℃ (450 ℃ 옵션) 가열 속도: 1 ~ 20 ℃ /s
작동 범위: 100mm*200mm 장치 크기: L 0.7m*W 0.6m*H 0.5m 장치 무게: 150kg
마이크로미터 반자동 패치프로세스:열압열-초음파(옵션)회류소접(옵션)점접착(옵션)기계조립 UV 자외선경화(옵션)공정용접
적용:레이저 다이오드, 레이저 바 바 바 용접 VCSEL, PD, 렌즈 어셈블리 패키징 LED 패키징 마이크로광학 소자 패키징 센서 패키징 3D 패키징 웨이퍼 레벨 패키징(C2W) 패키징 칩 키 조합(면이 아래로)
구성 목록:키합팔 주시 카메라 모듈 측식 카메라 모듈 XYZ 마이크로 조정 플랫폼 압력, 정밀도 교정 치구 공정 가열대 표준 흡입
옵션 모듈:메틸산 가스 발생 모듈 불활성 가스 보호 모듈 가열/자가평형 흡입 청막 필름 채취 모듈 (보조용접제, UV접착제) 초음파 용접 모듈