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남경시 경제기술개발구 용담가두 소항로 1호 용담물류기지 150532호
강소과항유체과학기술유한공사
남경시 경제기술개발구 용담가두 소항로 1호 용담물류기지 150532호
전자 가스 파이프라인 시스템, 약칭 가스 시스템은 저장, 수송, 분배, 제어 네 가지 유형으로 구성되며, 그 중"저장"은 가스 공급원 부분(가스 캐비닛GC),"수송" 은 배관 방면 (일반적으로 이중 튜브를 사용한다), "분배" 는 2차 배합 부분 (가스 분배 캐비닛 VMB), "통제" 는 감독 제어 부분 (가스 관리 시스템 GMS) 을 가리킨다.반도체, 집적회로, 광섬유, 태양전지 등 마이크로전자업종에 널리 응용되는 가스로시스템이다.
전자동 GC(가스 캐비닛) 기능에 따라 디자인은 단강병, 쌍강병, 삼강병으로 나눌 수 있다.
단강의 설계는 일반적으로 연구기관이나 실험실 등에 사용된다.공정 제조 공정은 아직 양산이 없고, 가스 사용량이 적으며, 현장에서 언제든지 정지를 조정하여 강병을 교체할 수 있으며, 그 장점은 공간을 절약하고 원가를 낮지만, 일상적인 관리와 조율을 통해 공정 제조 공정을 중단하여 손실을 초래하지 않도록 해야 한다.
쌍강과 삼강은 양산 공장에 자주 사용되며, 공정 제조 공정은 정지 상황을 허용하지 않는다. 한 강병을 사용한 후 다른 예비 강병은 자동으로 가스 공급으로 전환된다. 이 두 가지 형식의 가장 큰 차이는 청소 파이프라인의 고순도 질소는 강병이나 공장 사무단으로 공급된다. 청소용 고순도 질소가 통일적으로 공장 사무단에서 공급될 때 모든 특수 기체 공급 시스템은 상용 여부와 상관없이 모두 같은 값으로 연결된다.만약 중앙공급시스템의 고순도질소가 중단되고 경보시스템이 또 파손된다면 공교롭게도 두가지 서로 용납되지 않는 기체가 동시에 청소를 사용하는데 이때 폭발사건이 발생할수 있으며 같은 성질로 같은 강철병을 사용하여 청소할수 있어 증가된 원가와 공간이 매우 제한되여있어 아주 좋은 응변방식이다.
특수 가스 시스템의 /GR 특수 가스 프레임 설정은 다음 규정에 부합해야 합니다.
가스병 캐비닛과 가스병 선반은 단공예 가스병 외장 청소 기원, 쌍공예 가스병 외장 청소 기원, 쌍공예 가스병 내부 청소 기원 등 다양한 구조 배치를 사용할 수 있다;비상용 가스병은 같은 가스병 캐비닛이나 가스병 선반에 놓아서는 안 된다;가스병 캐비닛, 가스병 받침대는 작업용 가스 패널을 설치해야 한다;시스템의 공급 능력은 열역학과 유체력학 계산을 거쳐 확인해야 한다;가스병 캐비닛은 문을 닫을 때 100Pa 이상의 음압을 유지해야 하며 캐비닛 내의 배풍 환기 횟수는 300회/h 이상이어야 한다. 자연성, 인화성, 독성, 부식성 가스병 캐비닛은 배풍 출구에 고정식 가스 누출 탐지기를 설치해야 한다.가스병 캐비닛 캐비닛 케이스 강판 두께는 2.5mm 미만이어서는 안 되며, 부식 방지 코팅이 있어야 한다;가스병 캐비닛 문은 자동 폐쇄 기능을 갖추어야 하며, 폭발 방지 유리 관찰창을 갖추어야 한다;가스병 캐비닛의 고정 볼트 설계는 현지 지진 방어 강도의 요구를 만족시켜야 한다;가스병 캐비닛, 가스병 받침대는 명확하고 명확한 안전 표지판을 설치해야 한다;가스통 캐비닛이 폭발과 화재 위험 환경에 놓여 있을 때, 그 설계는 현행 국가 표준인"폭발 위험 환경 전력 장치 설계 규범"GB50058의 관련 규정에 부합해야 한다.
부성, 독성 등 위험성 가스 공급을 위해 설계된 공급 시스템으로 주재료는 SS316L를 선택하며 기본 기능은 자동 청소, 자동 전환, 자동 차단 (경고 신호가 트리거되는 것을 설정할 때) 이다.제조업의 범주 내에서, 특히 반도체와 고정밀 화학제품과 관련된 분야에서 특수 가스 (특기) 는 매우 중요한 기초 재료 역할을 하고 있다.이런 기체가 생산라인에 안정적이고 안전하게 공급되도록 확보하는것은 고효률생산을 유지하는 관건이다.가스관 공사는 위험성이 매우 높은 공사로 인화성, 폭발성, 부식, 맹독 등의 성질을 가진 특수 기체의 안전하고 안정적인 수송을 보장하는 가스 공급 시스템이므로 가스 사용 안전을 위해 가스 시스템을 설치할 때 그 중의 일부 규정 표준을 엄격히 준수해야 한다.