상해 마버로 과학기술 단온구 플라즈마 PECVD 시스템

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개요

MFLPECVD408-12는 PECVD 시스템의 파이프 스토브 시스템입니다.진공관식로, 무선주파수전원, 가스공급시스템, 진공시스템으로 구성되였다.최고 온도는 1200도에 달할 수 있으며, 30단 프로그램 온도 제어 계기, K형 열전지, 용광로 안은 나노선을 생장하거나 CVD 방법으로 각종 박막을 제조하는 데 사용할 수 있는 고순도 산화 알루미늄 세라믹 섬유이다.

제품 정보

하나,제품 설명

2.제품 특징

1. 무선 주파수 전원을 통해 석영 진공 실내의 기체를 이온 상태로 변화시킨다.
2. PECVD는 일반 CVD보다 화학기상침적에 필요한 온도가 낮다
3. 무선 주파수 전원의 주파수를 통해 퇴적된 박막의 응력 크기를 제어할 수 있다
4. PECVD는 일반 CVD보다 화학기상침적속도가 높고 균일성이 좋으며 일치성과 안정성이 높다.
5. 광범위하게 응용: SiOx, SiNx, SiOxNy 및 무정형 실리콘 (a-Si:H) 등과 같은 다양한 박막의 성장.

2. 기술 매개 변수

장치 모델	MFLPECVD408-12는
관식로	온도 조절 범위	실온 -1200℃
	작동 온도	≤1100℃
	가열 영역 길이	400mm의
	석영관	지름 80mm, 길이 1400mm(튜브 지름 옵션 50, 60100)
	온도 조절 정밀도	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	항온 파동	± 1 ℃ (테스트 포인트는 1000 ℃)
	온도 상승 속도	추천 1000도 이하 ≤ 10 ℃/min, 가장 빠른 온도 상승 속도 ≤ 30 ℃/min
	냉방 속도	700℃ 이상≤10℃/min
	난로계 온도	난로체 표면 온도는 실온+10보다 작다(측정점은 1000℃)
	온도 측정 소자	K형 열전지
	온도 조절 모드	모호 PID 제어 및 자체 정정 조절, 지능형 30단 프로그래밍 제어, 초온화 단짝 경보 기능
	전압 전력	220V 3KW의
가스 공급 시스템	가스 통로	4번
	가스 회로 유량 제어	양성자 유량 컨트롤러 (7성 유량계)
	제어 정밀도	±1.5%F.S
	반복 정밀도	±0.2%F.S
	트래픽 범위	1-500 SCCM
	기계압력계	판넬에 있는 기계 압력계와 혼합 공기 관개 연결 측정: -0.1~0.15 Mpa



진공 시스템 시나리오 1 (저진공: 기계식 펌프)	전원	220V의
	극한 진공도	5X10^-1Pa
	공기 흡입 속도	2리터/초당
	진공 베젤 밸브	KF25는
	모델	VRD-8은
	모터 파워	0.4KW
진공 시스템 시나리오 2 (고진공: 기계식 펌프 + 분자 펌프 유닛)	모델	GZK-16-600의
	전원	AC100-240 50/60HZ
	전력	1KW
	무게	25KG의
	극한 압력	*1.0 10-4Pa**
	흡입, 배기 커넥터	KF40는
	냉수기 최대 유량	10L/분
	진공계	복합 진공계
	진공제어 정밀도	± 1%
	진공계 측정 범위	1.0x10 - 1.0x10-5pa
전원 플라즈마 발생기	출력 범위	0-500W
	전력 안정도	≤±5W
	작업 빈도	무선 주파수:13.56MHZ±0.005%
	일치 방식	자동
	냉각 방식	바람이 차다
	노이즈	<50dB>







안전	작업 환경	RT±5-40℃
	사용 보장	문 열어 단전 초온 경보 누전 보호 과온 보호




	관식로	한 대
출하 목록	진공 시스템	한 세트
	가스 공급 시스템	한 세트
	무선 주파수 전원 공급 장치	한 세트
	고온 장갑	캐스턴 한 켤레
	난로 꼬챙이	한 줌
	기관	한 개
	설비 설명서	한 부
	계기 설명서	한 부
	무상수리 카드	한 부
선택품	이동 난로 프레임	스테인리스강
선택품	터치스크린 스마트 계기	컴퓨터에 연결할 수 있는 50단 프로그래밍전용 컴퓨터 제어 시스템을 통해 단일 또는 여러 대의 전기레인지와의 원격 제어, 실시간 추적, 히스토리, 출력 보고서 등의 기능을 수행합니다.

참고: 파이프 지름 옵션: 50/60/80/100/120/150/200/300mm,

온도 구역은 이온 구역, 삼온 구역 등 다온 구역을 만들 수 있다.

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