Scios 2 DualBeam 초점 이온 빔 스캔 전자 현미경

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개요

Scios 2 DualBeam 초점 이온 빔 스캔 전자 현미경은 초고해상도, 고품질 샘플 제조 및 3D 표징에 사용됩니다.

제품 정보

Scios 2의 DualBeam초고해상도, 고품질 샘플 제조 및 3D 표징을 위한 초점 이온 빔 스캔 전자 현미경

열 과학Scios 2의 DualBeam자기 및 비전도 재료를 포함한 다양한 샘플에 뛰어난 샘플 제조 및 3D 표징 성능을 제공하는 초고해상도 분석 초점 이온 빔 스캐닝 전자 현미경 (FIB-SEM) 시스템입니다.혁신적인 기능 설계를 통해 통량, 정밀도 및 사용 편의성을 향상시켜 학술, 정부 및 산업 연구 분야에서 과학자와 엔지니어의 고급 연구 및 분석 요구를 충족시키는 이상적인 솔루션입니다.

Scios 2의 DualBeam초점 이온 빔 스캐닝 전자 현미경주요 특징:

빠르고 편리한 제조

Sidewinder HT 이온 기둥을 사용하여 고품질, 현장 특정 TEM 및 원자 프로브 샘플을 얻을 수 있습니다.

완전한 샘플 정보

다양한 통합 크로마토그래프 기둥 및 렌즈 아래 검출기를 통해 선명하고 정확하며 전하가 없는 명암비를 얻을 수 있습니다.

정확한 샘플 탐색

유연성이 뛰어난 110mm 탑재대와 챔버 내 Thermo Scientific Nav-Cam 카메라는 구체적인 응용 요구에 따라 맞춤형으로 제작할 수 있습니다.

솔루션 최적화

옵션으로 제공되는 최대 500Pa의 챔버 압력 저진공 모드를 포함한 유연한 DualBeam 구성으로 구체적인 어플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

Sidewinder HT 이온 기둥을 사용하여 고품질, 현장 특정 TEM 및 원자 프로브 샘플을 얻을 수 있습니다.

초고해상도 이미징

자기 및 비전도 물질을 포함한 광범위한 샘플 범위에서 성능을 갖춘 Thermo Scientific NICOL 전자 크로마토그래피 기둥을 사용합니다.

고품질, 다중 모드 하위 서피스 및 3D 정보

옵션 AS & V4 소프트웨어를 사용하여 관심 영역을 정확하게 표적하여 고품질, 다중 모드 하위 표면 및 3D 정보를 얻을 수 있습니다.

무위상 이미지 및 구성 패턴

DCFI, 드리프트 억제 및 Thermo Scientific SmartScan 모드와 같은 전용 모드가 있습니다.

규격

전자빔 해상도	최고의 WD 30keV STEM에서 0.7nm 1keV에서 1.4nm 1keV(빔 감속)에서 1.2nm
전자빔 매개변수 공간	빔 전류 범위: 1pA ~ 400nA 착륙 에너지 범위: 20* eV – 30keV 가속 전압 범위: 200V – 30kV 최대 수평 와일드 폭: 7mm WD에서 3.0mm, 60mm WD에서 7.0mm 표준 탐색 클립을 통해 넓은 시야 (1x) 제공
이온 광학 시스템	가속 전압: 500V – 30kV 빔 전류 범위: 1.5pA – 65nA 15 위치 광맹장 표류 억제 모드, 비전도 샘플의 표준 모드 최소 이온원 수명: 1000시간 이온 빔 해상도: 30kV 각도 선택 시 3.0nm
검측기	Trinity 감지 시스템(렌즈 내 및 크로마토그래피 기둥 내) T1 분단식 하경통 내검측기 T2 상단 렌즈 내 검출기 T3 신축성 크로마토그래프 기둥 내 검출기(옵션) 최대 4개의 동시 감지 신호 Everhart-Thornley SE 검출기(ETD) SI(2단 이온) 및 SE(2단 전자)를 위한 고성능 이온 변환 및 ICE(전자 검출기)(옵션) 확장성, 저전압, 고대비도, 세그먼트, 솔리드 스테이트 역산란 전자 검출기(DBS)(옵션) BF/DF/HAADF 세그먼트가 포함된 확장 가능한 STEM 3+ 검출기(옵션) 샘플 및 챔버용 IR 카메라 보기 캐비티 실내 Nav-Cam 샘플 탐색 카메라(옵션) 통합 빔 전류 측정
운반대와 견본	유연한 5축 전기 플랫폼: XY 범위: 110mm Z 범위: 65mm 회전: 360 ° (무제한) 기울기 범위: -15 ° ~ +90 ° XY 반복성: 3μm 최대 샘플 높이: 공심점과의 간격 85mm 0° 기울기 시 최대 샘플 무게: 5kg(샘플 랙 포함) 최대 샘플 크기: 회전 시 110mm(더 큰 샘플일 수도 있지만 회전이 제한됨) 중심 회전 및 기울기 계산

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