ESCALAB QXi X선 광전자 분광기 마이크로프로브

ESCALAB QXi X선 광전자 분광기 마이크로프로브고해상도 엑스선 광전자 스펙트럼 및 이미징을 제공하는 다중 기술 표면 분석기

고감도, 고해상도 정량 이미징 및 표면 분석 다중 기술 연계 기능을 결합한 Thermo Scientific™ ESCALAB™ QXi X선 광전자 분광기(XPS) 마이크로프로브는 분석 성능과 유연성 향상에 대한 요구 사항을 충족합니다.

ESCALAB QXi XPS 마이크로프로브는 유연성과 구성 편의성을 갖춘 확장 가능하고 최적화된 다중 기술 기기입니다.그것은 매우 민감하여 몇 초 안에 고품질의 스펙트럼을 생성할 수 있다.시스템 제어, 데이터 수집, 처리 및 보고는 강력한 Thermo Scientific Avantage 데이터 시스템에 완벽하게 통합됩니다.직관적인 EM 소프트웨어로 구동되는 기술은 결과와 생산성을 보장합니다.ESCALAB QXi XPS 마이크로프로브에 탑재된 듀얼 검출기 시스템은 뛰어난 공간 해상도를 갖춘 우수한 XPS 이미징도 제공한다.

ESCALAB QXi XPS 마이크로프로브의 특징

단색 XPS

500mm 롤랜드 원을 가진 듀얼 크리스털 마이크로 포커스 단색기는 알루미늄 양극 (또는 듀얼 단색기 옵션이 있는 알루미늄 실버 듀얼 양극) 을 사용하여 200 µm ~ 900 µm 범위에서 측정 플레어 크기를 선택할 수 있습니다.

렌즈 및 분석기

ESCALAB QXi XPS 마이크로프로브의 렌즈 및 분석기 시스템은 분광학 및 평행 이미징에 최적화되어 있습니다.단일 분석기 경로는 스펙트럼 및 이미징에 동일한 계측기 매개변수 (예: 에너지 사용) 를 사용할 수 있음을 의미합니다.

이온총

ESCALAB QXi XPS 마이크로프로브는 빠르고 고해상도의 깊이 분석을 위한 두 가지 옵션이 있습니다. 표준 EX06 이온총은 단립자 모드 이온 사출과 이온 산란 스펙트럼에 최적화되어 있습니다.또한 옵션인 단일 입자 및 클러스터 이온 소스 MAGCIS는 단일 입자 이온 분석, 이온 클러스터 분석 및 이온 산란 스펙트럼 분석에 적용될 수 있습니다.

정렬과 교정

구리, 은 및 금 샘플이 포함된 표준 블록은 민감도 평가, 분석기 에너지 측정의 선형도 설정, 이온 소스 교정, X선 단색기 교정 및 분석기의 변환 기능 식별에 사용될 수 있습니다.

견본 기계손

컴퓨터 제어 5축 고정밀 변환기(HPT)는 분석을 위해 정확한 시료 정렬을 제공합니다.새로운 자동 샘플 마운트 시스템과 함께 사용할 경우 샘플 랙을 자동으로 교체하고 사전 설정 실험 트리를 실행하는 데 사용할 수 있습니다.

제조실

ESCALAB QXi의 표준 전처리실은 가열/냉각 프로브, 이온총, 고압가스실, 시료 주차 장치 및 가스 입구와 같은 다양한 시료 제조 장비를 수용할 수 있는 포트를 갖춘 조합식 시료 입구 잠금 및 제조실입니다.

검측기

ESCALAB QXi XPS 마이크로프로브는 두 개의 검출기 시스템을 갖추고 있다: 하나는 스펙트럼에 최적화되어 있으며, 하나는 6채널 전자 증폭기 세트로, 다른 하나는 평행 이미징을 위해 사용되며, 한 쌍의 채널 보드와 한 쌍의 연속 위치 민감 탐지기로 구성되어 있다.

디지털 제어

ESCALAB QXi의 모든 분석 기능은 Windows 소프트웨어 기반 Avantage 데이터 시스템에 의해 제어되므로 필요에 따라 전체 분석 프로세스를 원격으로 수행할 수 있습니다.

샘플 정렬

ESCALAB QXi의 샘플대에 있는 모든 동작 축은 Avantage 데이터 시스템에 의해 제어되며, 기기에 고해상도 디지털 카메라가 설치되어 분석 위치와 정확하게 정렬됩니다.

진공 시스템

ESCALAB QXi의 분석실은 자기 차폐 효율을 극대화하기 위해 5mm 두께의 고전도 자기합금으로 구성되어 있으며, 터보 분자 펌프와 티타늄 승화 펌프를 사용하여 분석실의 공기를 흡입하여 분석실의 진공도가 5 x 10보다 우수하도록 합니다.-10밀리바.

접속성

측정 좌표는 Thermo Scientifc Maps 소프트웨어를 통해 전용 현미경 시스템에서 Avantage 데이터 시스템을 가져와 측정 영역을 더 빠르게 식별할 수 있습니다.XPS 스펙트럼 및 이미징 데이터를 Maps 소프트웨어에 추가하여 표면 화학 및 구조 정보를 직접 비교할 수 있습니다.