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SPIN150x 고품질 베이스 코팅기

협상 가능업데이트06/26
모델
제조업체의 성격
생산자
제품 카테고리
원산지 Place of Origin

개요

SPIN150x 고품질 베이스 코팅기는 정확하고 반복 가능한 공정 제어를 실현할 수 있다.그 재질은 천연 폴리프로필렌(NPP)이며, 내화학성이 있는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)도 선택할 수 있다.충분히 검증된 이 모델은 표준 버전과 고급 버전으로 나뉘어 새로운 버전을 내놓았다.직경 최대 150mm의 원형 기저나 사이즈 100 100밀리미터의 사각형 견본.

제품 정보

SPIN150x 高质量基底旋涂机


SPIN150x 高质量基底旋涂机

디자인

섀시와 배수 설계는 데스크탑과 내장형 모델 간에 쉽게 전환할 수 있습니다.모듈식 설계를 통해 다양한 액세서리로 장치를 업그레이드할 수 있어 할당 작업과 전체 처리 프로세스를 간소화할 수 있습니다.

액체 여과 포집기

SPINx 시리즈에는 스핀들 코팅기의 핵심 부품을 보호하기 위한 액체 필터링 포집기가 장착되어 있습니다.그것은 처리 챔버나 진공 카드판을 통해 진공 파이프라인에 들어가는 모든 액체나 부식 방지제를 액체 용기에 수집할 수 있다.회전식 코팅 케이스의 개구부를 통해 이 용기를 볼 수 있어 유지 보수가 편리하다.

자동 덮개

사용자 인터페이스 또는 발판 (장갑 상자 환경에 이상적) 을 통해 자동으로 뚜껑을 열고 닫을 수 있습니다.또한 공정 레시피의 마지막 단계에서 자동으로 뚜껑을 열 수 있습니다.

모터 리턴 제로 위치

새로운 SPINx 시리즈는 모터 리턴 위치를 설정하여 로봇 제어/자동화 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다.

표준 부품:

  • 4-6인치 웨이퍼용 진공 카드

  • 10mm 이상의 조각을 위한 조각 어댑터

적용 가능한 프로세스:

  • 코팅

  • 청소

  • 헹구다/건조하다

  • 현상

  • 식각

  • PDMI 및 기타 프로세스

하드웨어 사양:

  • 액체 여과 포집기

  • 자동 덮개 (고급 버전은 발판을 통해서도 제어할 수 있음)

  • 프로그래밍 가능한 모터 리턴 제로 위치

  • 주사기 또는 노즐 분배용 중심 주사 브래킷

  • 사용자 안전을 위한 뚜껑 잠금 장치 및 진공 센서

  • 대형 (분리 가능) 터치 디스플레이

  • USB 드라이브에 레시피 저장 및 소프트웨어 업데이트를 위한 USB 포트

  • 드라이브 유닛 사양: 간접식 브러시 없는 드라이브 유닛, 최대 12000회전/분;높은 가속도와 정밀도, 1-30000 회전/분;시계 방향 / 반시계 방향 회전 및 puddle 모드;데스크탑과 내장형 모델 간에 전환 가능한 디자인

SPIN150x 高质量基底旋涂机


SPIN150x 高质量基底旋涂机