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상해시 민행구 포강진련항로 곤대과학기술빌딩 811호
제품 카테고리
상해영열상무유한공사
개요
SHIMADZU 도진 분자펌프 수리 분자펌프(Turbo Molecular Pump)는 주로 태양전지와 반도체 제조를 위한 진공 환경을 제공하는 데 사용된다.도진 분자 펌프는 세계 수준의 배기 능력을 가지고 있으며, 다양한 태양 전지 모듈과 실리콘 웨이퍼의 공정 수요를 충족시킬 수 있는 일련의 제품을 가지고 있으며, 시장이 확대됨에 따라 우리의 개발 발걸음도 멈추지 않고 있다.
제품 정보
SHIMADZU 섬진 분자 펌프
도진TPM은 주로 반도체 부품, 태양전지, 평판디스플레이 제조에 고진공 환경을 제공하는 데 쓰인다.
도진에서 생산되는 TMP는 국제 수준의 가스 처리량과 공기 흡입 속도를 갖추고 있어 날로 엄격해지는 반도체 제조의 공정 수요를 충족시킬 수 있다.예를 들어, 제조업체가 대면적의 실리콘 조각에 반도체 필름을 침적하고 식각할 수 있도록 한다.
터빈의 고속 회전을 통해 진공 환경을 생성하고 TMP의 진공 흡입 효과는 분자 흐름 수준에 도달했습니다.반도체와 평판 디스플레이를 제조하려면 뛰어난 장비 작동 상태를 유지하기 위해 깨끗하고 기름이 없는 진공 환경이 필요하다.도진이 제공하는 기술 성능, 신뢰성 및 글로벌 기술 지원 네트워크는 도진TMP를 이러한 응용 분야의 구성 부분으로 만들었다.도진은 멀티 라인업 TMP 제품군을 생산한다.제품군마다 용도가 다르다.
온도 제어 기능과 특수 내부식 코팅 외에도 높은 가스 처리량을 갖춘 TMP-2404/3304/4304 시리즈의 흡속 범위는 2100L/s~4400L/s로 다양한 응용 분야가 잠재되어 있다.
컴팩트하고 에너지 효율적인 폼 팩터 TMP-X1605/V2304 시리즈의 각 모델의 TMP는 별도의 전원 공급 장치가 있는 모델보다 전력 소비량이 15% 낮은 통합 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다.
통합 전원 공급 장치 외에도 TMP-X3405/X4304 시리즈는 반도체 및 평판 디스플레이 (FPD) 제조에서 공정 프로세스에 대한 엄격한 요구 사항을 충족하는 온도 제어 기능과 부식 방지 코팅을 갖추고 있습니다.
또한 TMP-203~1003 시리즈의 많은 제품들은 뛰어난 압축비와 극한 압력 수준을 갖추고 있어 고진공을 실현할 수 있다.
shimadzu 시마쓰 자기부상 터빈 분자펌프 TMP-3003LM
일본 시마쓰 자기부상 베어링 터빈 분자 펌프는 5축 제어 자성 베어링 시스템을 채택하여 기름을 사용하여 윤활할 필요가 없으며, 운행 과정 중에 어떠한 마찰도 없이 진정으로 기름, 유지 보수, 설치가 없는 터빈 분자 펌프이다.
Shimadzu TURBO Pump 일본 도쿠시마 TMP 전체 시리즈 분자 펌프 판매/수리/정비 제공
엄청난 배기량
• 우수한 내식성
• 컴팩트한 컨트롤러
• 생성물 대책 (선택 품목)
• 다양한 모니터링 기능
• 네트워크 액세스 대응
• 펌프 회전 속도 조절 가능
• 소비 전력 절감
• 다양한 사양에 적용
• 조정 불필요 (펌프 케이블 교체 시 컨트롤러 재조정 불필요)
• 축전지 불필요
• 광범위한 범위와 처리량
• 디지털 전원 공급 장치 지원
• 다양한 모니터링 기능
• 네트워크 연결 가능
• CE 인증, SEMI S2 인증 및
Shimadzu TURBO Pump 일본 시마즈 분자 펌프 수리, 정비의 일부 모델:
TMP-X系列 TMP-X2905LMTC, TMP-X3405LMTC
TMP-LMTC는系列 TMP-3403LMTC, TMP-4203LMTC
TMP-MP/MPC系列 TMP-1103MP, TMP-1103MPC
TMP-LMP/LMPC는系列 TMP-1103LMP, TMP-1103LMPC
TMP-B/SER는系列 TMP50, TMP-B300, TMP280-SER
TMP-I/L-SER는系列 TMP280-I-SER, TMP280-L-SER, TMP1500-L-SER
TMP-UE/LM-SER는系列 TMP802-LM-SER, TMP-2001-UE-SER, TMP-3001-LM-SER
TMP-V 시리즈
TMP-V1704LM, TMP-V2304LM, TMP-V2304LM (PB), TMP-V3304LM, TMP-V3304LM (F)
TMP-LMF/LMB 시리즈
TMP-1503LMF, TMP-2804LMB/LMF, TMP-3304LMB/LMF, TMP-3403LMB/LMF, TMP-4304LMB/LMF, TMP-3804LMF/LMC
TMP-M/MC는系列 TMP-203M/MC、TMP-203M-G1TMP-303M/MC、TMP-403M/MC、TMP-803M/MC、TMP-1003M/MC、TMP-1003MC-U2、TMP-1303M/MC、TMP-1503LMP/LMC、TMP-2003M/MC、TMP-2003MC-U2、TMP-2003MC-U1、TMP-2203M/MC、TMP-3203M/MC
TMP-LM/LMC 시리즈
TMP-203LML/LMC、TMP-303LM/LMC、TMP-403LM/LMC、TMP-803LM/LMC、TMP-803LM-G1、TMP-1003LM/LMC、TMP-1303LM/LMC、TMP-1303LMC-G1、TMP-1503LM、TMP-2003LM/LMC、TMP-2003LM-3、TMP-2203LM/LMC、TMP-2804LM/LMC、TMP-3003LM/LMC、TMP-3203LM/LMC、TMP-3203LMC-A1、TMP-3303LM/LMC、TMP-3304LM/LMC、TMP-3403LM/LMC、TMP-3403LMC-K1、TMP-H3603LMC、TMP-H3603LMC-A1、TMP-H3606LM、TMP-3804LMC、TMP-4203LMC、TMP-4203LMC-T1、TMP-4304LM/LMC
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