초고해상도 송신 스캔 전자 현미경 Regulus 시리즈

협상 가능업데이트05/20

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개요

기존 모델인 SU8240, SU8230, SU8220 및 SU8010을 재통합하여 Regulus8240, Regulus8230, Regulus8220, Regulus8100으로 파생되었습니다.'리글러스 시리즈'는 기존 모델의 관찰·분석 성능을 계승한 SU8200 시리즈의 저소음 냉장 발사 전자총*1을 장착해 고안정 빔 스트림을 얻을 수 있다.전자광학 시스템 최적화로 레귤러스 8240/8230/8220은 1kV 조건에서 0.7nm로, 레귤러스 8100은 0.8nm로 해상도가 향상됐다. 또 초고해상도 능력을 충분히 발휘하기 위해 증폭배율도 과거 100만배에서 200만배*1로 높였다.Regulus8240/8230/8220/8100은 또한 사용자 지원 기능을 보완하여 이 기능을 통해 사용자가 각종 복잡한 신호의 검측 원리를 더욱 쉽게 이해하고 사용자가 기기의 최상의 성능을 충분히 발휘할 수 있도록 돕는다.*1 Regulus8240/8230/8220 전용

제품 정보

초고해상도 송신 스캔 전자 현미경 Regulus 시리즈

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超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

기존 모델인 SU8240, SU8230, SU8220 및 SU8010을 재통합하여 Regulus8240, Regulus8230, Regulus8220, Regulus8100으로 파생되었습니다.

'Regulus 시리즈'는 기존 모델의 관찰 및 분석 성능을 계승하여 SU8200 시리즈의 저소음 냉장 발사 전자총을 장착하였다^*1, 높은 안정된 속류를 얻을 수 있습니다.

전자 광학 시스템의 최적화를 통해 Regulus8240/8230/8220은 1kV 조건에서 0.7nm, Regulus8100은 0.8nm로 해상도가 향상되었습니다.

또한 초고해상도의 능력을 충분히 발휘하기 위해 증폭배율도 과거 100만배에서 200만배로 높아졌다^*1。
Regulus8240/8230/8220/8100은 또한 사용자 지원 기능을 보완하여 이 기능을 통해 사용자가 각종 복잡한 신호의 검측 원리를 더욱 쉽게 이해하고 사용자가 기기의 최상의 성능을 충분히 발휘할 수 있도록 돕는다.

*1: Regulus8240/8230/8220 전용

특징
사양

특징

"SU8200 시리즈"의 냉장을 그대로 사용하여 전자총을 발사하다^*2
전자빔이 Flashing 후에 나타나는 높은 밝기 안정 영역을 안정적인 관찰의 구간으로 채택하여 낮은 가속 전압 조건에서 고해상도 관찰과 분석의 최적의 성능을 겸비하게 한다
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
오염이 적고 고진공 샘플 창고를 채택하다
에너지 필터(옵션)를 사용하여 다양한 성분 대비 관찰 가능^*2

극저 착륙 전압 아래 고해상도 관찰

极低着陆电压下高分辨观察
견본: 금 알갱이
착륙 전압: 10V

초고해상도 관찰

超高分辨观察
샘플: Pt 촉매
가속전압: 30kV

저가속 전압에서 고해상도 EDX 분석

低加速电压下高分辨EDX分析
샘플: Sn 볼
착륙 전압: 1.5kV

*2: Regulus8240/8230/8220 전용

사양

프로젝트			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
2차 전자 해상도			0.7 nm (가속전압 15kV) 0.8 nm (착륙 전압 1kV)^*3	0.6nm(가속전압 15kV) 0.7nm(착륙전압 1kV)^*3
착륙 전압			0.1～2 kV	0.01～20 kV
배율 확대			20~1000000배^*4	20~2000000배^*4
견본대	견본대 제어		3축 모터 (옵션 5축 모터)	5축 모터 구동
	범위 이동	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	재현성		-	-	-	±0.5µm 이하 ±0.5µm 포함

*3: 감속 모드에서 관찰
*4: 127mm × 95mm 필름 기준 배율