RTP 축대 온도계 EX-ET-222

주요 특징

자세한 설명

30년 이상의 역사를 가진 귀금속 열전지 업계의 선구자로서 BASF는 이미 그 온도 측정 기술을 광학 온도 측정에 전문적으로 응용했다. BASF Exactus®적외선온도센서는 기술적인 돌파를 이룩하여 비접촉식온도측정에서 뚜렷한 성능우세를 보여주었다.다른 동종 제품에 비해 민감한 전자 기술, 정밀 광학 기술 및 단파장을 이용하여 저온을 측정하는 능력은 과정 제어를 더욱 엄격하게 하고, 정밀도를 더욱 높이며, 전체 성능을 더욱 좋게 한다.

RTP 축대 온도계 EX-ET-222BASF Exactus입니다.®시리즈 제품은 웨이퍼 사이의 온도와 박막 두께의 균일성을 제어하는 데 많은 장점을 가지고 있다: 고도로 민감한 전자학과 선진적인 광학 기술은 더 짧은 파장의 탐지기로 방사능을 측정할 수 있다는 것을 의미하며, 이는 웨이퍼 투과 및 발사율로 인한 오차를 감소시킨다.또한 고속 측정 및 고해상도로 온도 및 소음 억제의 우수한 성능을 보장하여 더 나은 웨이퍼 온도 모니터링 및 생산 공정을 제공합니다.

RTP 축대 온도계 EX-ET-222900nm 정도의 센서 직접 연결 광관 연결 형식과 다중 채널 IFM10-EC를 결합하여 최대 10점의 실시간 측정과 기록을 실현할 수 있으며, 온도 측정 범위는 250~1300 ℃, 정밀도는 1.5 ℃, 중복성은 0.1 ℃ 이다.AMAT에 적합한 RTP 온도 측정 시스템

BASF Exactus®시리즈 적외선 온도 측정 장비는 이미 빠른 퇴화, 빠른 산화, 박막 퇴적 등 반도체 공정에 널리 사용되고 있으며 AIXTRON, LPE, Premtek, AMAT 등 여러 MOCVD 장비 및 기타 RTP 장비에 통합되어 있다.또한 온도 측정 정밀도와 안정성이 높기 때문에 Thermogauge 회사와 같은 일부 고온 흑체로 공장에서 온도 표준기로 사용됩니다.

일반적인 어플리케이션

기술 매개변수