실리콘 순도 분석 헬륨 이온 가스 크로마토그래프

하나,실리콘 순도 분석 헬륨 이온 가스 크로마토그래프

AGC NovaCHROM1000는실리콘 순도 분석 헬륨 이온 가스 크로마토그래프DID 헬륨 이온화 검출기를 사용하여 주로 고순도 실리콘에서 H2, O2, N2, CH4, CO, CO2 등의 분석에 사용됩니다.

AGC NovaCHROM1000，모든 연결 인터페이스는 1/8'VCR을 사용하여 기기의 기밀성을 보장합니다.설치된 밸브는 엄격한 누출 시험을 거쳤으며 * 대기와 격리된 He 공기 청소가 있는 케이스에 장착되었다.따라서 환경 오염을 근절하여 기기가 더 안정적이고 민감하며 더 긴 사용 수명을 보장합니다.

2. 낮은 검사 제한:

3. 주요 특징:

• DID 헬륨 이온화 검출기 탑재

• 2개 이상의 검출기 탑재 가능

• ppb급 감도

• 빠른 응답 시간 ≤ 0.5초 (90%)

• 독립된 큰 기둥 상자 외에도 독립적으로 온도를 조절하는 작은 기둥 상자 여러 개를 탑재하고 있다

• 각 크로마토그래피 기둥에는 독립적인 온도 제어 기둥 상자가 있다

• 전기포광 스테인리스 강관, 산세척 둔화 처리

• 하스합금 가스로를 탑재하여 부식 방지 처리를 할 수 있다

• 필요에 따라 가열 기능이 있는 솔레노이드 밸브(옵션)

• 통합 진단 시스템

• 장기적인 안정성 및 민감성

• * 자동화된 어플리케이션

• Trend-vision 워크스테이션 소프트웨어*를 통해 제어

• 사용자의 필요에 따라 다양한 가스 분석 방법 사용자 정의 가능

4. 기술적 우위:

크로마토그래프 핵심 부품-- AGC사의 DID HFADD FID TCD 검출기*는 아일랜드 AGC사의 자체 개발을 기반으로 하며, 성질이 강하고 감도와 안정성이 높아 고순도 가스 중 저함량 불순물 분석의 선택이다.

* 의 듀얼 검출기 병렬 연결AGC회사는 이중검측기를 연구제작하여 병렬로 사용하고 2개의 *독립적인 검측기를 탑재하였는데 그들의 온도제어시스템과 조작운행은 모두 독립적인 2개의 검측기로서 직렬로 련결할수도 있고 병렬로 련결할수도 있다.

크로마토그래프 가스 회로 시스템-- 독창적인 중심 절단, 반취 시스템 기술로 여러 가지 복잡한 성분의 분석 검측을 한 번에 완성할 수 있다;

크로마토그래프 소프트웨어 시스템-- AGC 크로마토그래프와 함께 특별히 개발된 Trend Vision은 테스트 보고서 완성, 데이터 자동 분석/저장, 자동 스펙트럼 그리기, 가스 크로마토그래프 반제어, 보존 시간 조절 및 각종 절단 동작 외에 Zui는 4대의 분석 기기를 동시에 제어할 수 있다;

배기가스 순화 시스템-- AGC 75-802 가스 순화기는 재생 가능한 순화기로 5.5N급 가스를 7.5N 이상으로 순화시킬 수 있으며, 초고순도의 가스 적재는 AGC 고순도 가스 크로마토그래프로 하여금 더욱 높은 감도를 가지게 한다;

공기 순환 장치-- CGDP-01 가스 탑재 전환 장치의 구성은 두 병의 가스를 동시에 탑재할 수 있으며, 가스 탑재 사용이 완료되어 가스 공급원을 전환할 때 오염 가스에 진입하지 않도록 하고, 가스 탑재 전환 장치의 구성은 AGC 가스 크로마토그래프의 더 높은 작업 효율과 분석 품질을 보장한다.

5. 고순도 실리콘 크로마토그래프: