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제품 설명:

精密隔振光学平台–옵티컬 플랫폼–기부 광학 플랫폼h-TDI 시리즈는 일본 HERZ사가 개발한 3D 감진 유형 시스템이다.이 시리즈精密隔振光学平台원시 TDI 감진 시스템의 SHG 기술을 개선하여 초고성능 3D 공기 스프링에 고저항 프레임을 배합하여 3차원 6개의 자유도의 진동을 격리할 수 있으며 광학 현미경, 간섭기, 윤곽기 등 정밀 기기에 적용되어 사용자에게 우수한 수동 방진 성능을 제공할 수 있다.시리즈는 일본 HERZ사의 연구개발이다精密隔振光学平台의 3D 감진 유형 시스템입니다.이 시리즈는 원시 TDI 감진 시스템의 SHG 기술을 개선하여 초고성능 3D 공기 스프링에 고저항 프레임을 배합하여 3차원 6개의 자유도의 진동을 격리할 수 있으며 광학 현미경, 간섭기, 윤곽계 등 정밀 기기에 적용되어 사용자에게 우수한 수동 방진 성능을 제공할 수 있다.

Herz 옵티컬 플랫폼 작동 방식:

측정 및 제조 장비가 설치된 바닥은 많든 적든 진동이 있을 수 있습니다.이러한 진동이 장비에 악영향을 미칠 경우 가장 효과적인 솔루션은 광학 플랫폼-정밀 감진대-선글라스 방진대(감진대)를 사용하여 장비에 가장 적합한 조건을 조성하는 것입니다.

패시브 방진대는 독특한 부드러운 운동으로 이동하기 쉬운 모양과 적당한 무게로 들어오는 진동을 흡수하고 진동 에너지를 소모하여 방진한다.따라서 방진 고무와 에어 스프링과 같은 부드러운 재료와 부드럽게 움직일 수 있는 부품은 패시브 방진대의 중요한 요소입니다.패시브 방진대는 용수철의 강도를 변경하거나 용수철의 수를 증가시켜 수십 톤의 설비를 지탱할 수 있다.

에어 스프링 방진 스탠드는 방진 지지 부품 (스프링) 의 총 중량 M에 비해 정적 하중 하의"스프링 압력 피압 면적 S","스프링 내부 압력 P"와"스프링 수량 N (지지 부품의 수량)"을 곱한 총 수치의 균형을 유지하기 위해 설계되었습니다.동적 로드 상태(M 무게 중심 이동으로 인한 불균형 상태)가 발생하면 가변 로드 컴포넌트(M)는 메커니즘 밸브에서 자동으로 보정되거나 닫힌 밸브에서 내부 압력을 수동으로 보정합니다.에어스프링식 방진대는 스프링 소재의 점성 저항과 압력을 폐쇄하는 공기(기체) 저항을 손실 계수로 사용하며, 방진 효과를 개선하기 위해 에어스프링 내부 용적(스프링 캐비티)과 보조 가스탱크 내부 부피(댐핑실) 사이를 절류공(절류밸브)으로 서로 연결하고 절류공을 통해 공기 저항을 한다.이 보조 가스통은 자연 주파수를 조절하는 주요 요인 중의 하나이다.이 제어 방법의 장점은 로보틱스 밸브를 통한 압력 조작(압력 IN / OUT / EXH) 및 스로틀 구멍 또는 속도 제어기를 통한 유속 / 흐름 조절과 같은 저렴한 어셈블리 구성을 통해 가장 큰 효과를 얻을 수 있다는 것입니다.

기술 매개 변수:

• 모델명: h-TDI ※ h-TDIS 옵션
• 감진 방식: 수직 방향 - HERZ 감진 에어 스프링, 수평 방향 - Herz 고성능 수평 진동 격리 시스템
• 에어 스프링 수: 4-6
• 댐핑 방식: 수직 방향은 절류 구멍을 통해 공기 댐핑을 진행하고 수평 방향은 특수 고무의 고성능 댐핑을 사용한다
• 고유 주파수: 수직 방향 약 1.3Hz/수평 방향 약 0.6Hz(균등 최대 중량 탑재 시)
• 조절 방식: 기계식 자동 조절 센서 3개 포함
• 가스 공급 방식: 가스 공급원을 분리하여 가스를 공급한다
• 필요한 기압: 0.3~0.7MPa(3~7kgf/c㎡) ※수동 공기 공급 옵션
• 작업대 재질: 상판-자화 스테인리스 강판 5t, 하판-열간 압연 저탄소 강판 4.5t ※ 소자기 스테인리스 강판 옵션
• 셀룰러 재질: 알루미늄/강철 셀룰러 ※ 소자기 스테인리스 스틸 셀룰러 옵션
• 표면 처리: 탭 M-6·25mm 매트릭스 표준 가공(옵션) 표면 미칠(※ 검은색 도료 포함)
• 하중력: 150-1000kg(특정 모델에 따라 다름)
• 전체 무게: 197-3400kg(모델 및 패널 소재에 따라 다름)
• 폼 팩터: 모델에 따라 다름(107LA-6015LA)

업그레이드 옵션:

• 고저항 프레임
• 패널 옵션: 필요에 따라 고저항 셀룰러 패널, 석판 및 주철판 옵션

감진 효과 - Herz 옵티컬 플랫폼:

h-TDI 시리즈 선글라스 방진대는 수직 방향과 수평 방향의 진동 상황을 효과적으로 낮출 수 있으며, 고저항 프레임을 배합하여 외력 충격으로 인한 변위를 최소화할 수 있다.