데스크탑 액티브 방진 광 플랫폼 - 데스크탑 액티브 방진대 - Herz TS Series

약술:

21세기의 나노기술 (예를 들어 정보 관련 기술을 대표하는 선진 반도체, 성명 과학 관련 기술, 예를 들어 유전자 치료, 원자 또는 분자 처리, 예를 들어 MEMS와 신소재 생성 등 공학 기술), 진동, 소음, 전자장, 열, 습도, 간섭 등이 측량 환경의 제약 요소가 될 것이다.나노기술에서는 신뢰할 수 있는 결과를 얻기 위해 에어부팅 격진의 저주파 범위를 사용하기 어려우므로 능동적인 격진이 필요하다.

데스크탑 능동 방진대 - Herz TS Series 첨단 능동 방진 시스템은 21세기 나노 기술의 방진 기술 기초로서 현재 기술과 측정을 촉진하고 미지의 기술을 혁신하고 발전시키는 데 도움이 될 것이다.TS 시리즈는 0.7Hz-100Hz의 넓은 범위에서 6개의 모든 자유도에서 뛰어난 액티브 방진 성능을 제공합니다.

작동 방식:

데스크톱 능동 방진 광학 플랫폼 - 데스크톱 능동 방진대 - Herz TS Series는 첨단 방진 기술로 6개 공간 방향의 진동(수평 방향과 수직 방향 포함)을 격리할 수 있으며, TS 시리즈 능동 방진대는 컨트롤러 내의 압전 가속 센서를 이용하여 외계 진동의 압력 신호를 전기 신호로 변환하여 격리 모듈의 압전 교환기에 전송된 압력과 반대 방향의 압력 제거 신호를 생성한다.방진 시스템은 피드백 회로를 이용하여 방진 시스템의 기계 공진을 제거한다.

성능 비교 (TS-150/LP는）：

- 진동 가속도 대비

오른쪽 데이터는 TS-150/LP의 방진 성능, 수평(X, Y) 및 수직(Z)을 보여줍니다.

파란 선: 지면 진동 가속도

레드 라인: TS-150/LP 표면 마운트 보드 가속도

– 진동 전송률

오른쪽 데이터는 바닥에서 TS-150/LP 표면 장착판까지의 진동 전달률, 수평 (X, Y) 및 수직 (Z) 을 보여줍니다.

수직축: 전송률, 단위: dB

(20 dB = x 10, 0 dB = x 1, -20 dB = x 0.1, -40 dB = x 0.01, -60 dB = x 0.001)

이 데이터는 액티브 방진 시스템이 1Hz-100Hz 저주파 범위에서 우수한 방진 성능을 가지고 있음을 나타냅니다.

데스크탑 액티브 방진 광 플랫폼 - 데스크탑 액티브 방진대 - Herz TS Series 기술 매개 변수:

스피커와 함께 최적의 측정 환경 조성：

TS 시리즈 액티브 방진 시스템은 전자 현미경을 스캔하는 것과 같은 원자 또는 분자 연구에 매우 중요합니다.진동뿐만 아니라 음향학적 억제도 고려해야 한다.우리가 생산하는 AEk 스피커는 SPM과 같은 초고해상도 응용프로그램에 적합합니다.AEk 및 TS 시리즈를 통합하면 최적의 측정 환경을 제공할 수 있습니다.

AEK-2002 스피커 조합: AEK 시스템은 다중 레이어 가변 밀도 방음 재료 레이어를 사용하여 와이드 밴드 노이즈를 효과적으로 격리합니다.

TS 적용 사례：