대형 샘플 광학 윤곽계

특징

무게 제한 없음-무한한 측정 능력

600 × 600mm의 넓은 이동 범위, 초당1미터의 놀라운 속도.닫힌 루프 XY 용문틀은 무게 제한을 두려워하지 않고 일관된 성능을 제공하도록 설계되었습니다.

안심하고 사용

인증된 반도체 표징에 사용 가능，이 시스템은 SEMI S2 및 S8과 같은 다양한 산업 표준을 준수하도록 설계되었으며 독일 라인도 통과했습니다.TÜV는인증

삼합일 기술

높은 측정 공통성,먼지 없는 측정 헤드S neox 클린룸각 특정 샘플에 적합한 기술을 사용하여 이미징할 수 있는 세 가지 다른 광학 기술을 제공하여 나노미터급 정밀도를 실현할 수 있다.

엄격히 부합하다ISO 1 레벨

먼지 없는 공간에 적합,측정 센서 호환ISO 레벨 1 표준.동체는 스테인리스강으로 만들어져 미립자 배출을 줄일 수 있다.

소프트웨어

수집 소프트웨어 내장：올인원 소프트웨어 솔루션

이 측정 시스템은 사용하기 쉬운SensoSCAN 제어는 측정 자동화를 위한 더 강력하고 강력한 기능을 제공합니다.

SensoPRO는-빠른 품질 관리

플러그인 기반 솔루션,SensoPRO에는 일반적인 자동화 분석 요구 사항과 맞춤형 어플리케이션을 위한 다양한 플러그인이 있습니다.

소비자 가전 제품을 위한 맞춤형 솔루션

SensoPRO 소프트웨어는 품질 관리에서 분석을 자동화하고 대량의 데이터를 효율적으로 처리합니다.우리는 소비자 전자 산업의 특수한 요구를 충족시키기 위해 일련의 맞춤형 플러그인을 제공했다.

SensoVIEW는-강력한 분석 소프트웨어

분석 시야 넓히기,SensoVIEW는 다양한 작업에 적합한 분석 소프트웨어입니다.2D 및 3D 데이터 세트에서 데이터를 추출할 수 있는 전체 키트가 있습니다.

표면 분석

SensoVIEW는 전담 작업자에게 적합한 ISO 표준에 따라 평면도와 표면 텍스쳐 매개변수를 추출하고 볼륨 계산 등을 할 수 있는 사용자 친화적인 단계별 인터페이스를 제공한다.

치수 측정

프로파일 및 횡단면 뷰의 주요 치수 분석에 사용할 수 있는 여러 도구가 있습니다.각 도구는 공차를 포함하여 전체 치수 분석을 가능하게 하는 자동 조정 기능을 제공합니다.

규격

기술

照明光源

치수 (mm/의'）

물경- 명장

대물경-간섭

PSI / ePSI / CSI

용문식XY 플랫폼

표준 인증