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올림푸스 측정 현미경

협상 가능업데이트12/26
모델
제조업체의 성격
생산자
제품 카테고리
원산지 Place of Origin
개요
올림푸스 측정 현미경은 광학 현미경과 *의 측정 능력을 통합하여 ** 측정의 다년간의 현미경 개발 경험을 통해 우수한 관찰 성능을 달성했습니다. STM7 측정 현미경 시리즈는 광학 현미경에 사용되는 UIS2 무한 원격 교정 광학 시스템을 사용합니다.따라서 관찰된 이미지는 높은 해상도와 높은 명암비를 가지고 있으며, 미세한 세부 사항에 대한 높은 정밀도 측정을 보장하기 위해 사진 차이도 * 제거됩니다.
제품 정보

올림푸스 측정 현미경소개

광학 현미경 및 * 입력 측정 기능을 통합하여 * * 측정

다년간의 현미경 개발 경험은 현재 * 광학 현미경에 사용되는 UIS2 무한 원격 보정 광학 시스템을 사용하여 * * 의 관찰 성능을 달성했습니다.따라서 관찰된 이미지는 고해상도와 높은 명암비를 가지고 있으며, 이미지 차이도 * 제거되어 미세한 세부 사항에 대한 높은 * 도 측정을 보장합니다.

올림푸스 측정 현미경시리즈는 현재 * 광학 현미경에 사용되는 UIS2 무한 원격 보정 광학 시스템을 사용합니다.따라서 관찰된 이미지는 고해상도와 높은 명암비를 가지고 있으며, 이미지 차이도 * 제거되어 미세한 세부 사항에 대한 높은 * 도 측정을 보장합니다.

측정 정밀도를 한층 더 보장하기 위해 화강암 받침대를 갖춘 높은 내구성과 진동 방지 안경틀을 채택했다.화강암의 높은 안정성 때문에 측정이 마이크로미터 수준에 도달할 수 있으며, 동시에 오차를 더 크게 줄일 수 있도록 보장한다.

화강암을 정교하게 조각하여 세밀하게 다듬은 적재대 받침대는 측량의 신뢰성을 강화하여 고도 측량의 선봉으로서 간단하고 조작하기 쉬운 고 *도 3축 측량을 계속 제공한다

현대 제조 기술이 날로 소형화되고 정밀화됨에 따라 고*도 측정도 날로 중요해지고 있다. XY축 평면의 측정뿐만 아니라 Z축 방향의 고*도 측정도 필수적이다.올림푸스는 현미경 측정용 능동 반사, 공초점 방법을 채택한 자동 초점 시스템을 성공적으로 개발한 회사가 되어 이러한 날로 늘어나는 수요에 호응했다.


공초점 자동 초점 시스템 광로

엄격한 추적 가능 시스템으로 신뢰할 수 있는 품질 보장
올림푸스는 엄격한 추적 시스템을 통해 현미경의 * * 도를 측정합니다.또한 시스템을 설치할 때 올림푸스는 추적 가능한 교정 서비스를 제공했다.

측정 현미경 추적 시스템
사용 편의성을 고려한 설계
현재의 견본 크기에 맞게 적재대를 제공하다.
자주 묻는 질문
짧은 측정 여정으로는 큰 샘플의 측정 요구를 충족시킬 수 없습니다.
지금까지 대형 적재대는 X축 방향에서 충분한 측정 여정을 제공했지만 Y축의 여정은 여전히 작다.측정 과정에서 시료를 회전시켜 X축 커버리지보다 짧은 Y축 여정을 보상해야 하는데, 이런 방법은 시간이 많이 걸리고 효율이 높지 않다.
측정 가능한 범위가 좁기 때문에 수량이 많은 샘플을 적재대에 배열하여 한꺼번에 동시에 측정할 수 없다.

STM7 솔루션
총 네 가지 *의 정사각형 측정 여정이 있는 적재대는 50mm×50mm, 100mm×100mm, 200mm×200mm, 300mm×300mm로 선택할 수 있습니다. 큰 샘플이든 작은 샘플이든 측정할 샘플에 적합한 적재대는 항상 있습니다.
클러치 시스템을 채택하면 굵은 조정과 미세 조정 사이에서 빠른 전환을 실현할 수 있다.이러한 전환 기능을 갖추면 운반대도 X축과 Y축 방향을 따라 빠르게 이동할 수 있으며 XY 평면을 자유롭게 오갈 수 있다.
300mm 길이의 사각형 탑재대는 X축과 Y축 방향에서 같은 측정 여정을 제공할 수 있는데, 이는 300mm의 웨이퍼와 인쇄회로기판과 같은 대형 샘플의 모든 측정을 샘플을 회전하지 않고 실현할 수 있다는 것을 의미한다.

동일한 현미경을 사용하여 낮은 배율과 높은 배율 관찰
자주 묻는 질문
대부분의 전통적인 측정현미경은 물경이나 금상물경만 측정할수 있어 여러가지 관찰요구를 동시에 만족시킬수 없다.

STM7 솔루션

측정 물경 어댑터를 설치하여 측정 물경을 사용할 수 있으며, 물경 회전판으로 교체하면 금상 물경을 사용할 수 있다.이는 STM7이 금상광학 시스템과 측정 광학 시스템을 동시에 측정 현미경에 결합한다는 것을 의미한다.이를 통해 STM7 시리즈는 대형 샘플을 측정하든 정교한 샘플을 측정하든 표면 높이 차이가 큰 샘플을 측정하든 사용자가 더 나은 관찰 방법을 선택할 수 있도록 대응하고 협조할 수 있다.

측량물경

측정물경은 매우 긴 작업 거리를 가지고 있기 때문에 표면의 기복이 심한 샘플에 초점을 맞출 때 물경과 샘플 사이의 접촉을 걱정할 필요가 없다.또 물경의 저배율 능력을 측정해 큰 시야를 한 번에 관찰할 수 있다.

금상물경

광학 현미경에 필적하는 고배율과 고해상도 관찰력을 얻을 수 있다.더욱 중요한것은 명장관찰외에 암장, 편광과 미분간섭관찰에도 대응할수 있다는것이다.

수동 및 전동 초점 조절 모드 선택수동 초점 조절과 전동 초점 조절 두 가지 계열을 포함한다Z축의 상하 초점 조절의 경우 수동형과 전동형 두 가지 시리즈를 선택할 수 있습니다.샘플 및 측정 내용에 따라 적재할 필요 없이 원하는 모델을 선택하십시오.물대의 치수.모든 미러에는 Z축 선형 눈금자가 내장되어 있으며 다양한 모델의 STM7은 3축 측정에 해당합니다.

수동 Z축 초점 조절 모델은 **의 비용 효율성을 제공합니다. 널리 사용되는 초점 조절 손잡이를 조작하여 Z축을 빠르게 위아래로 이동할 수 있습니다.다양한 높이 샘플을 가진 사용자를 쉽게 측정할 수 있습니다.


전기 Z축 초점 조절 모델

전동초점조절장치를 사용하면 조작성을 대폭 제고할수 있으며 초점과 고도측정을 할 때의 조작피로를 줄일수 있다.굵고 미세하게 초점을 맞추는 동축 다이얼은 사용자가 습관적으로 수동과 비슷한 방식으로 조작할 수 있도록 설계되었으며, 동시에 전동기형은 자동 초점 단위를 장착할 수 있다.

획기적인 설계를 갖춘 제어 장치는 현미경 측정의 조작성을 대폭 향상시켰다

자주 묻는 질문
기능을 추가하려면 추가 운영 단위가 필요합니다.작업자는 여러 셀을 동시에 조작해야 하므로 효율적으로 측정할 수 없습니다.작업 중에는 작업 셀을 찾을 수 없는 경우도 종종 있습니다.
기능을 추가하려면 추가 운영 단위가 필요합니다.작업자는 여러 셀을 동시에 조작해야 하므로 효율적으로 측정할 수 없습니다.작업 중에는 작업 셀을 찾을 수 없는 경우도 종종 있습니다.

STM7 솔루션
제어 장치
STM7 시리즈의 경우 카운터 재설정, 조명 제어, 초점 조정 및 자동 초점 맞추기 등의 거의 모든 측정 현미경 작업을 단일 작동 장치로 수행할 수 있습니다.효율성과 편의성을 향상시키기 위해 장치를 원하는 위치에 배치하고 한 손으로 쉽게 조작할 수 있습니다.


수동 Z축 초점 조절 모델:
STM7-HS 수동 작동 장치


전기 Z축 초점 조절 모델:
STM7-MCZ 전기 작동 장치

제어 박스
각 유닛의 전원 및 통신이 단일 컨트롤 박스에 통합됩니다.포커스 탐색과 같은 일부 옵션 기능을 추가하더라도 추가 전원 공급 장치를 추가할 필요가 없으며, 이러한 설계는 작업 공간을 더 적게 차지할 수 있도록 설계되었습니다.

관찰 및 측정 효율을 크게 향상시킨 라이트 관리자

자주 묻는 질문
전통적인 현미경 측정에 사용되는 아날로그 다이얼 조절 방식은 빛의 강도를 정량적으로 제어할 수 없다.이렇게 하면 측정할 때마다 빛의 강도가 * 로 유지되지 않아 측정값도 변경됩니다.
기존 측정 현미경을 사용할 때 대물경을 전환할 때마다 빛의 강도를 조절해야 하므로 작업 흐름이 매우 비효율적입니다.

STM7 솔루션
광원의 밝기를 정량적으로 파악할 수 있는 디지털 디스플레이

빛의 강도가 높은 정량 디지털 디스플레이를 구현할 수 있어 항상 * 조명 조건에서 관찰을 실시할 수 있습니다.

렌즈를 전환할 때 수동으로 빛의 강도를 조절할 필요가 없다광강도 관리자는 인코딩 물경 회전판 구성과 함께 사용할 수 있습니다.인코딩된 대물렌즈 휠은 광원 관리자의 사전 설정과 함께 현재 사용 중인 대물렌즈를 자동으로 인식합니다.값 기능은 각 대물렌즈에 대해 조명 방식과 조명 강도를 등록할 수 있습니다.이렇게 하면 물경을 전환할 때마다 자동으로 빛의 강도를 조절하고 조명 방식을 조절할 수 있다.예전처럼 매번배율을 전환한 후 수동으로 빛의 강도를 조절하는 조작은 지금 생략할 수 있다.


5배
강도 50


20X
강도 70


100X
강도 120

사용이 편리한 장소에 배치할 수 있는 이동식 카운터로 측정 결과와 장비 상태를 언제든지 신속하게 확인할 수 있습니다.
자주 묻는 질문]
조명 상태와 같은 장비 작동 상태와 측정 결과를 확인해야 하는 경우 여러 장치에 표시되기 때문에 작업이 매우 번거롭습니다.
STM7 솔루션
현재 상태를 한눈에 확인할 수 있는 카운터 카운터에는 디바이스 상태와 설정을 표시하는 표시등이 있어 디바이스의 현재 설정 상태를 간단히 확인할 수 있습니다.X, Y, Z축의 최소 단위는 0.1μm와 1μm 사이를 전환할 수 있으며, 밀리미터, 마이크로미터, 인치, 밀이 사이에서 디스플레이 단위를 전환할 수 있다.맞춤형 요구 사항에 맞게 자유롭게 배치할 수 있는 분리형 카운터는 미러에 장착하든 작업대에 장착하든 사용자의 사용 상황과 사용 습관에 따라 적합한 위치에 배치할 수 있습니다.사용자가 서서 측정할 때 카운터를 관찰 위치와 거의 같은 높이의 거울 프레임 쪽에 설치하여 쉽게 결과를 관찰하고 검사할 수 있습니다.사용자가 디지털 카메라를 통해 모니터에서 관찰하고 측정하거나 전기 Z축 초점 조절 모델을 사용할 때 카운터와 조작 장치를 작업대에 올려놓기만 하면 의자에 쉽게 앉아 작업을 할 수 있다.


카운터가 거울틀에 설치되다


카운터를 작업대에 배치

높이 측정: 초점 탐색 시스템더욱 빠르고 단순하며 ** 향상된 높이 측정

자주 묻는 질문
시각 측정을 수행하면 작업자에 따라 높이 측정값이 달라집니다.또한 이 측정 방법은 시간이 많이 걸리고 비효율적입니다.

STM7 솔루션
**의 반복성, 단순성 및 높이 **가 있는 포커스 시스템은 패턴을 시야 범위에 투영하여 조작자가 상하 패턴의 일치 상황을 확인함으로써 올림푸스의 포커스 네비게이션 시스템은 반복성이 높은 고도 측정 작업을 실현한다.일반적인 눈대중으로 높이를 측정할 때 매우 선명해 보이는 이미 * 초점이 맞춰진 이미지라도 미세한 오차가 발생할 수 있다.STM7을 사용하는 초점 탐색 시스템은 마커와 일치하기만 하면 측정할 수 있기 때문에 조작자의 주관성이 측정 결과에 미치는 영향을 줄일 수 있다.
시각 높이 측정, 초점 탐색 시스템


포커스 아래


포커스 위치


포커스 위

자동 초점의 이점 신속하고 높은 **의 높이 측정

자주 묻는 질문
Ÿ 시각 측정을 할 때 작업자에 따라 높이 측정 결과가 달라집니다.
수동 높이 측정은 작업자가 반복적으로 운반대를 이동하고 다이얼을 사용하여 초점을 맞추는 작업을 수행해야 하므로 측정에 시간이 걸리고 비효율적입니다.
Ÿ는 지시선과 같은 미세한 물체에 초점을 맞추기 어렵다.

STM7 솔루션
빠르고 **적인 초점 및 조작자의 주관적인 영향을 받지 않는 측정

올림푸스는 빠른 초점을 구현하는 동시에 **의 초점 반복성을 보장하는 STM7 시리즈의 자동 초점 장치를 개발했습니다.따라서 작업자의 경험에 관계없이 짧은 시간 내에 높이 * * 측정을 수행할 수 있습니다.STM7 자동 초점 셀을 사용하면 작업자의 경험에 관계없이 최단 시간 내에 높이 **를 측정할 수 있습니다.거칠거나 기울어진 샘플 표면이라도 능동 반사, 공초점 방법을 이용하여 모두 안정적인 초점을 맞출 수 있고, 작은 직경의 레이저는 지시선과 같은 미세한 물체에 대한 자동 초점을 보장할 수 있다.

단일 초점 모드
자동 포커스를 수행하면 대략적인 포커스 상태에서 시야 중심으로 전환하는 선명한 포커스가 순식간에 완료됩니다.
추적 모드
특색 있는 추적 모드를 활성화하면 시료 표면의 높낮이에 따라 자동으로 초점이 맞춰져 작업대를 이동하는 경우에도 항상 초점이 맞춰집니다.이렇게 하면 X와 Y 핸들에서 손을 떼지 않고도 관찰을 구현할 수 있으므로 Z축의 측정 효율이 * * 향상됩니다.

측정 관찰 범위를 넓힌 부품
인코딩 렌즈 변환기

코딩 물경 회전판을 디지털 카메라와 함께 사용하면 관찰 과정에서 화면에 물경의 확대 배율을 표시할 수 있어 배율을 쉽게 기록할 수 있습니다.배율을 동시에 전환할 때도 소프트웨어에 기록된 교정값과 광강도와 연동하여 설정을 조정할 수 있다.명장물경과 명암장물경 두 가지가 있습니다.

MM6-EMO는 단일 안경통

정립 이미지는 단안 렌즈를 사용한다.MM6-OCC10 × (십자선이 있는 안경) 와 함께 사용할 수 있습니다.

STM7-FS 페달 스위치

X와 Y 핸들에서 손을 떼지 않고도 작업자가 측정을 완료할 수 있도록 데이터 전송을 손으로 할 필요가 없습니다.

SZ-LW61 백색 LED 조명 장치

작고 가벼우며 수명이 길고 전력 소비량이 적은 것이 특징입니다.또한 이 높은 가격 대비 LED 조명 유닛도 깜박임과 밝기 변동이 발생하지 않는다.

SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED 루프 조명 + 수동 제어 장치

SZX-RHS 수동 제어 유닛은 SZX2-ILR66 반사 LED 루프 조명 장치의 4단 독립 조명을 구현하고 높은 색 온도로 선명한 이미지를 제공합니다.13가지 모드에서 더 나은 조명을 선택할 수 있습니다.


회전 캐리어
미세 조정 다이얼을 사용하면 견본에 대한 평행 정렬을 쉽게 실현할 수 있다.


STM7-RS100의
STM7-CS100 100mm × 100mm 캐리어


STM7-RS200의
STM7-CS200 200mm × 200mm 캐리어


STM7-RS300의
STM7-CS300 300mm × 300mm 적재대

측정 지원 시스템
복잡한 형태에도 빠르고 간단하며 ** 측정 속도 향상

측정 현미경의 출력을 표시하는 데이터와 이미지는 더 잘 볼수록 더 편리하고 빠르게 사용하고 측정할 수 있습니다.올림푸스 측정 소프트웨어는 고**, 복잡성 측정을 지원하기 위해 디지털 카메라와 함께 사용할 수 있습니다.

STM7 사양

소형 수동 안경테
STM7-SF는

소형 전동 거울틀
STM7-SFA는

중형 수동 안경테
STM7-MF는

중형 전동 거울틀
STM7-MAF는

대형 수동 안경테
STM7-LF는

대형 안경테
STM7-LFA는

현미경
거울틀


초점

세로 이동 범위

175 mm

145 mm

최대 높이 측정

120mm(측정 대물경 포함)
175mm(금상물경 장착)

90mm(측정 대물경 포함)
145mm*1(금상물경 장착)

Z축 측정 해상도

0.1 μm

Z축 제어 방법

수동 동축
미세 조정 / 굵게 조정
초점 손잡이

전기 모터 구동:
● 초점 버튼:
이동 속도
8mm/s(최대)
● 미세/굵은 초점 조절 손잡이:
초점 속도 미세 조정 (회전)
일주일 이동량)
4단계 선택 가능
(800 μm, 400 μm,
100 μm, 50 μm)

수동 동축
미세 조정 / 굵게 조정
초점 손잡이

전기 모터 구동:
● 초점 버튼:
이동 속도
8mm/s(최대)
● 미세/굵은 초점 조절 손잡이:
초점 속도 미세 조정 (회전)
일주일 이동량)
4단계 선택 가능
(800 μm, 400 μm,
100 μm, 50 μm)

수동 동축
미세 조정 / 굵게 조정
초점 손잡이

전기 모터 구동:
● 초점 버튼:
이동 속도
8mm/s(최대)
● 미세/굵은 초점 조절 손잡이:
초점 속도 미세 조정 (회전)
일주일 이동량)
4단계 선택 가능
(800 μm, 400 μm,
100 μm, 50 μm)

조명

LED 조명

흰색: 반사 조명, 녹색: 투과 조명

거울통

정각 단일 안경통, 정각 3개 안경통(100:0/0:100)

물경

현미경 측정용

MM6-OB 시리즈

금상현미경용

PLFLN 시리즈, LMPLFLN 시리즈, MPLFLN-BD 시리즈, LMP LFLN-BD 시리즈

접안렌즈

MM6-OCC10X(십자선 포함), MM6-O C10X(FN 22)

적재대

측정 범위

STM7-CS50:
X轴 50 mm, Y轴 50 mm
STM7-CS100:
X轴 100 mm, Y轴 100 mm

STM7-CS200:
X轴 200 mm, Y轴 200 mm

STM7-CS300:
X轴 300 mm, Y轴 300 mm

측정 * * 도
(L: 길이 측정)

STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm

(3+4L/200) μm

(3+6L/200) μm

**도 보증 무게

STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg

10 킬로그램

15 킬로그램

카운터 디스플레이

축 수

3축

단위

밀리미터/마이크로미터/인치/밀이

최소 해상도

0.1 μm

폼 팩터 (폭 × 길이 × 두께) (mm)

466×583의
x651의

466 x 583 x 811의

606 x 762 x 651의

606 x 762 x 811의

804 x 1024 x 686의

804 x 1024 x 844의

무게

약 84kg

약 92kg

약 152kg

약 159kg

약 277kg

약 284kg

정격 전력

100-120/220-
240V ~
50/60Hz의
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

* 대형 선반 STM7-LF/STM7-LFA를 사용할 경우 광축 후방 180mm 이상의 거리에 높이 100mm 이하의 시료를 배치할 수 있습니다.

물경 작업 거리

배율

1x

3x

5x

10x

20x

50x

100x

물경

측량물경

MM6-OB 시리즈

59.6

76.8

65.4

50.5

-

-

-

금상물경

PLFLN 시리즈

명장

-

-

20.0

11.0

3.1

1.0

1.0

LMPLFLN 시리즈

긴 작업 거리

-

-

22.5

21.0

12.0

10.6

3.4

PLFLN-BD 시리즈

명장 / 암장

-

-

12.0

6.5

3.0

1.0

1.0

LMPLFLN-BD 시리즈

명장 / 암장
긴 작업 거리

-

-

15.0

10.0

12.0

10.6

3.3