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13761038296
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상해시 포동신구 첩교로 456 롱창연지조 C7동 5층
상해박훈기기과학기술유한공사
개요
미니 프로는 공간 해상도가 높은 스펙트럼 정보를 필요로 하는 과학 연구자들을 위해 설계된 컴팩트하고 저렴한 현미경 스펙트럼 시스템이다.$r$n 이 현미경 스펙트럼 시스템은 모듈식 설계를 채택하여 연구원들이 파장 범위와 실험 구성을 빠르게 전환할 수 있도록 하고, 파장 부품을 교체하여 조작이 간단하며, 5분 내에 $r$n 광발광 (PL) 분석 외에 현미경 라만 스펙트럼, 현미경 반사 스펙트럼과 현미경 광전류의 수집과 분석을 진행할 수 있다.
제품 정보
Ø작동 원리
1.레이저는 샘플 표면에 초점을 맞추고 분광기는 샘플의 발사 스펙트럼을 수집합니다.
2. 견본경 X, Y축을 스캔하여 각 좌표점의 포토레지스트 스펙트럼을 얻습니다.Z축 조절 물경, 샘플 초점 유지。
3. 수백만 개의 스펙트럼을 수집한 후, 분석 소프트웨어는 피크 에너지와 강도를 추출하여 고해상도, 고대비도 물리 이미지를 생성한다.
Ø핵심 기능 적용
이 현미경 스펙트럼 시스템은 모듈식 설계를 채택하여 연구원들이 파장 범위와 실험 배치를 빠르게 전환할 수 있고, 파장 부품을 교체하는 조작이 간단하여 5분 내에 완성할 수 있다
이 시스템은 광발광(PL) 분석 외에도 현미경 라만 스펙트럼, 현미경 반사 스펙트럼 및 현미경 광전류의 수집 및 분석이 가능하다.
핵심 강점
Ø모듈식 설계와 다기능 통합
모듈식 설계 |
다기능 통합 |
미니 프로 현미경 스펙트럼 시스템유니버설 광학 설계와 모듈식 설계를 사용하여 연구원들은 파장 부품 모듈을 교체하여 파장 범위와 실험 구성을 빠르게 전환할 수 있다. |
현미광 발광 (PL) 분석 |
현미경 라만(Raman) 스펙트럼 분석 | |
현미광 전류 분석 | |
X, Y, Z 3축 스윕 | |
전기 발광 분석 | |
TRPL 형광 수명 분석 | |
저온 측정 분석 |
Ø자동 초점
자동 초점 |
주요 매개 변수 |
자체 연구 기술로, 견본품이 거칠기에 적합하다./ 기울기 / 구부러진 표면, 레이저 반점 항상 초점 |
폭 스펙트럼: 200-1700nm |
공간 해상도: 마이크로미터급(0.35μm) | |
스펙트럼 채집량: 수백만 개 | |
온도 차 / 먼지 / 주변 조명 차단을 위한 내장형 보호 덮개 |
소프트웨어: 빠른 피크 맞춤 |
비용: 비용 효율적이고 맞춤형 구성 지원 |
기술 사양
카테고리 |
발생 매개변수 |
자극 파장 |
266-980 nm |
샘플 XY 스캐너 |
이동 범위: 5mm 또는 10mm 반복 정밀도: 20nm |
물경 Z 스캐너 |
이동 범위: 400 μm 반복 정밀도: 5nm |
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채집 시간 (포인트 적립 시간 10ms 시) |
100μm×100μm, 0.5μm步长：6분 5mm × 5mm, 50μm步长：2분 5mm×5mm, 5μm 스텝: 3h |
샘플 관찰 |
LED、단색 카메라 |
전원 |
120V, 60Hz |
데이터 인터페이스 |
USB 3.0의 |
크기 무게 |
43cm × 38cm × 58cm, 14Kg |
소프트웨어 분석 시스템
GPU 분석 가속 |
GPU 가속 피크 시뮬레이션 기술을 사용하여 |
수백만 개의 스펙트럼에 대한 시뮬레이션을 한 시간 내에 완료할 수 있습니다. | |
다중 피쳐 피크 맞추기 지원, | |
표준 함수 또는 사용자 정의 함수를 사용하도록 선택할 수 있습니다. | |
데이터 분석 기능 |
각 스펙트럼의 피크 에너지와 강도를 빠르게 추출， |
고해상도, 고대비 물리 이미지 생성 | |
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가짜 컬러 이미지 시각적 디스플레이 특징 피크 매개 변수 (예: 에너지 단위 eV) |
전형적인 응용과 과학 연구 사례
Ø녹색 발광 다이오드 (LED) 결함 인식
다음 그림은 녹색 발광 다이오드 (LED)의 광발광(PL) 스펙트럼은 이 녹색 LED의 결함에서 발광봉의 강도와 피크 에너지를 각각 보여준다.
이 실험은 LED 칩에 에폭시 수지를 덮어 형성된 투명하고 반구형의 볼록한 점을 측정하여 이루어졌다.
Ø 반도체 합금 성분과 상분포
피크 분석을 통해 화학 성분과 같은 재료의 물리적 성질을 분석하는 데 사용할 수 있습니다.
다음 그림은 텔루륨 아연 카드뮴 (CdZnTe) 에서 아연 (Zn) 함량의 공간 분포 변화를 보여줍니다.
Ø저온 발광 측정
이 저온 측정 부품에는 두와병, 진공 펌프, 온도 컨트롤러 등이 포함되어 있으며, 상자를 열면 데이터를 수집할 수 있다.
Ø일체형 광학 발광과 라만 측정 실현
자외선 발색과 영역을 피크 라만 스펙트럼으로 분석한 결과실리콘-탄화수소(Si-CH) 키 구조의 오염물
부터"Photoluminescence and Raman mapping of β-Ga2O3, AIP Advances (2021년)”
광발광(PL) 도표는 산화갈륨(Ga)을 밝혀냈다₂O는₃) 재료의 결함 분포.
“Ga2O3의 표면에 있는 지역화된 UV 방출자,” 과학 보고서 (2020)
(a) TiO2의 라만 스펙트럼으로, 예리한 티타늄 광산, 금홍석 및 무정형 영역을 표시합니다.
(b) 선택한 영역의 라만 스펙트럼입니다.TiO의 지역화된 단계 전환(Localized phase transition of TiO)2 Sub-bandgap 레이저 방사선에 의해 유발되는 ,” J ,” J. Vac.Sci.기술 A (2021).
파장 구성 요소 모듈
IR 근처 | |
레이저 |
975nm 레이저, 30-100mW |
분광기 |
NIRQuest+, 900-1700 nm |
IR, Raman 근처 | |
레이저 |
785nm 레이저, 250mW |
분광기 |
QE 프로, 100-2800 cm-1 |
빨간색 | |
레이저 |
635nm 레이저, 1-2mW |
분광기 |
Maya Pro는，635-1060nm |
녹색 | |
레이저 |
532nm 레이저, 4-5mW |
분광기 |
Maya Pro는，532-960nm |
녹색, 라만 | |
레이저 |
532nm 레이저, 30-140mW |
분광기 |
QE 프로, 90-4000 cm-1 |
바이올릿 | |
레이저 |
405nm 레이저, 1-2mW |
분광기 |
Maya Pro는，405-840nm |
UV 근처 | |
레이저 |
349nm 레이저, 0-20mW |
분광기 |
Maya Pro는，349-780nm |
깊은 UV | |
레이저 |
266nm 레이저, 5mW |
분광기 |
Maya Pro는，266-700 nm |
간편한 설치 및 디버깅, 맞춤형 구성 요소 지원
• 시스템 옵션
ØStandard Microscope 표준 현미경 시스템
u핵심 포지셔닝: 기본 엔트리 프로비저닝
u주요 특징: 분광기 불포함
u적용 시나리오: 기본 현미경 관찰 요구 사항
ØMini Pro Microscope 현미경 스펙트럼 시스템
u핵심 포지셔닝: 주력 과학 연구 모델
u주요 특징: 통합 스펙트럼 분석 기능, 지원PL、라만,광전류 등 다양한 측정 모드
u적용 장면: 전면적인 재료 스펙트럼 분석 연구
ØPremium Microscope 웨이퍼급 현미경 스펙트럼 시스템
u핵심 포지셔닝: 전문 구성
u주요 특징: 웨이퍼 레벨 샘플에 최적화되어 더 넓은 스캐닝 범위 제공
