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사천 성도시 고신구 천부대로 중단 500-1호 동방희망 천상광장 C석 4527실
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현미분광막 두께 측정기
현미분광막 두께 측정기
비접촉·비파괴·현미, 초점, 측정 1초 완료 ● OPTM 시리즈 현미경 분광막 두께계는 타원형 기기를 대체할 수 있으며, 필름 두께, 굴절률 n, 소광계수 k, 절대 반사율을 측정하는 신형 고정밀도, 고성 가격비의 분광막 두께계이다.투명 기판에 대한 후면 반사를 제거하여 실제 반사율, 필름 두께 테스트의 목적을 달성할 수 있는 다양한 투광 가능한 필름 레이어 테스트에 적용됩니다.또한 소프트웨어는 복잡한 모델링 프로세스를 단순화하고 사용하기 편리하며 단순화합니다.
● 고객 시스템에 볼륨 헤드를 자유롭게 통합할 수 있는 무접촉 무파괴
● 초보자도 모델링의 초보자 해석 모드를 쉽게 해석할 수 있다
● 고정밀도, 고재현성량으로 자외선에서 근적외선 대역까지의 절대 반사율을 측정하여 다층 박막의 두께, 광학 상수(n: 굴절률, k: 소광계수)를 분석할 수 있다
● 단일 초점 가량 측정은 1초 이내에 완료
● 현미분광 아래 넓은 범위의 광학계(자외선~근적외선)
● 독립적인 테스트 헤드는 각종 온라인 맞춤형 수요에 대응한다
● 최소 대응 spot 약 3μm
측정 항목
● 절대 반사율 분석
● 다층막 해석(50층)
● 광학 상수(n: 굴절률, k: 소광계수)
필름이나 유리 등 투명 기판 샘플은 기판 내부 반사의 영향으로 제대로 측정할 수 없다.OPTM 시리즈는 대물렌즈를 사용하여 내부 반사를 물리적으로 제거하고 투명 기판이라도 고정밀 측정을 할 수 있습니다.또한 광학적 이방성을 가진 막이나 SiC 등의 시료에 대해서도 그 영향을 받지 않고 위의 막을 단독으로 측정할 수 있다.
(제5172203호)
적용 범위
● 반도체, 복합반도체: 실리콘반도체, 탄화규소반도체, 갈륨비소반도체, 포토레지스트, 개전상수재료
● FPD: LCD, TFT, OLED(유기농 EL)
● 데이터 저장: DVD, 헤드 필름, 자성 재료
● 광학 재료: 필터, 항반사막
● 평면 디스플레이: 평면 디스플레이, 필름 트랜지스터,OLED
● 필름: AR 필름, HC 필름, PET 필름 등
● 기타: 건축용 자재, 접착제, DLC 등
OPTM-A1 |
OPTM-A2는 |
OPTM-A3는 |
|
|---|---|---|---|
파장 범위 |
230 ~ 800 nm |
360 ~ 1100 nm |
900 ~ 1600 nm |
막 두께 범위 |
1nm ~ 35μm |
7nm ~ 49μm |
16nm ~ 92μm |
측정 시간 |
1초 / 1시 이내 |
||
광경 크기 |
10μm(최소 약 3μm) | ||
감광 소자 |
CCD는 |
InGaAs는 |
|
라이트 사양 |
듀테륨등 할로겐등 |
할로겐 램프 |
|
치수 |
556(W) X 566(D) X 618(H) mm(자동 XY 플랫폼의 바디 부분) | ||
무게 |
66kg(자동 XY 플랫폼 유형의 바디 부분) |
||
에이전트 브랜드: CCS 클로즈업 SEN 닛센, EYE 이와사키, REVOX 레보커스, SERIC 솔렉
소닉소닉, 산코삼고, 뉴콘신광, NPM일맥, 수지야마삼산
NS일본과학, DRY-CABI 동리번, TOKISANGYO 동기, SIBATA 시바타
강점 브랜드: USHIO 소꼬리, TOPCON Topcon, FUNATECH 선월룡, ORC 오아시, HAYASHI 린시계
SAGADEN 차아, SAKAZUME 사카시, DNP 대일본 과학연구, TOKYO DENSHOKU 전색,KKIMAC
S-VANS 스완스, ORIHARA 접원, LUCEO 루치오, HIKARIYA 빛집, YAMADA 야마다 광학
AND 아이앤더, T&D 덴트, JIKCO 기고, DKK-TOA 동아전파, 오카노 오카노
IMV 아이무미, MITUTOYO 삼풍, KYOWA 공화, ONOSOKKI 오노, SANEI 삼영
HEIDON 신동, KURABO 창방, SHOWA 소화, THINKY 신기