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현미분광막 두께 측정기

협상 가능업데이트05/07
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개요

현미분광막 두께 측정기 $r$n 비접촉 #183;비파괴 #183;현미경, 초점, 측정 1초 완료 ● OPTM 시리즈 현미분광막 두께계는 타원형을 대체할 수 있는 기기이다

제품 정보

현미분광막 두께 측정기

현미분광막 두께 측정기


비접촉·비파괴·현미, 초점, 측정 1초 완료 ● OPTM 시리즈 현미경 분광막 두께계는 타원형 기기를 대체할 수 있으며, 필름 두께, 굴절률 n, 소광계수 k, 절대 반사율을 측정하는 신형 고정밀도, 고성 가격비의 분광막 두께계이다.투명 기판에 대한 후면 반사를 제거하여 실제 반사율, 필름 두께 테스트의 목적을 달성할 수 있는 다양한 투광 가능한 필름 레이어 테스트에 적용됩니다.또한 소프트웨어는 복잡한 모델링 프로세스를 단순화하고 사용하기 편리하며 단순화합니다.


● 고객 시스템에 볼륨 헤드를 자유롭게 통합할 수 있는 무접촉 무파괴

● 초보자도 모델링의 초보자 해석 모드를 쉽게 해석할 수 있다

● 고정밀도, 고재현성량으로 자외선에서 근적외선 대역까지의 절대 반사율을 측정하여 다층 박막의 두께, 광학 상수(n: 굴절률, k: 소광계수)를 분석할 수 있다

● 단일 초점 가량 측정은 1초 이내에 완료

● 현미분광 아래 넓은 범위의 광학계(자외선~근적외선)

● 독립적인 테스트 헤드는 각종 온라인 맞춤형 수요에 대응한다

● 최소 대응 spot 약 3μm


측정 항목

● 절대 반사율 분석

● 다층막 해석(50층)

● 광학 상수(n: 굴절률, k: 소광계수)

필름이나 유리 등 투명 기판 샘플은 기판 내부 반사의 영향으로 제대로 측정할 수 없다.OPTM 시리즈는 대물렌즈를 사용하여 내부 반사를 물리적으로 제거하고 투명 기판이라도 고정밀 측정을 할 수 있습니다.또한 광학적 이방성을 가진 막이나 SiC 등의 시료에 대해서도 그 영향을 받지 않고 위의 막을 단독으로 측정할 수 있다.

(제5172203호)
显微分光膜测厚仪


적용 범위

● 반도체, 복합반도체: 실리콘반도체, 탄화규소반도체, 갈륨비소반도체, 포토레지스트, 개전상수재료

● FPD: LCD, TFT, OLED(유기농 EL)

● 데이터 저장: DVD, 헤드 필름, 자성 재료

● 광학 재료: 필터, 항반사막

● 평면 디스플레이: 평면 디스플레이, 필름 트랜지스터,OLED

● 필름: AR 필름, HC 필름, PET 필름 등

● 기타: 건축용 자재, 접착제, DLC 등


OPTM-A1

OPTM-A2는

OPTM-A3는


파장 범위

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

막 두께 범위

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

측정 시간

1초 / 1시 이내

광경 크기

10μm(최소 약 3μm)

감광 소자

CCD는

InGaAs는


라이트 사양

듀테륨등 할로겐등

할로겐 램프


치수

556(W) X 566(D) X 618(H) mm(자동 XY 플랫폼의 바디 부분)

무게

66kg(자동 XY 플랫폼 유형의 바디 부분)

에이전트 브랜드: CCS 클로즈업 SEN 닛센, EYE 이와사키, REVOX 레보커스, SERIC 솔렉

소닉소닉, 산코삼고, 뉴콘신광, NPM일맥, 수지야마삼산

NS일본과학, DRY-CABI 동리번, TOKISANGYO 동기, SIBATA 시바타

강점 브랜드: USHIO 소꼬리, TOPCON Topcon, FUNATECH 선월룡, ORC 오아시, HAYASHI 린시계

SAGADEN 차아, SAKAZUME 사카시, DNP 대일본 과학연구, TOKYO DENSHOKU 전색,KKIMAC

S-VANS 스완스, ORIHARA 접원, LUCEO 루치오, HIKARIYA 빛집, YAMADA 야마다 광학

AND 아이앤더, T&D 덴트, JIKCO 기고, DKK-TOA 동아전파, 오카노 오카노

IMV 아이무미, MITUTOYO 삼풍, KYOWA 공화, ONOSOKKI 오노, SANEI 삼영

HEIDON 신동, KURABO 창방, SHOWA 소화, THINKY 신기