품질 트래픽 컨트롤러

G100C는품질 트래픽 컨트롤러특징

l고정밀, 고해상도 제어

lDC는9-36V광전압 전력 공급

l저전력, 전력<2W

l통합40기초 가스 종류를 심다

l사용자 지정 가능10혼합기체를 심다

l매개변수 자체 정정 기능 제어하기

l디지털 제어RS-485Modbus는 RTU 통신 모드

l넓은 유량 범위

l예열 불필요

l설치 방향 제한 없음

l높은 반복성과 신뢰성

l전자기 비례 밸브를 사용하여 수명이 길고 응답 속도가 빠르다

l자체 온도 보상, 보상 범위0-50℃

l내부 폐쇄 루프 제어, 높은 안정성

l소포장 크기

측정 및 정밀도 소개

l사용 가능한 범위:

n최대0-20slpm은

n최소0-10sccm의

n상비 측정은 선택 양식을 참조하십시오.

l측정 비율:100:1

l전체 정밀도:±0.5%

l읽기 정밀도:±1%

l반복성:±0.5%FS는

l응답 시간: <100ms(조정 PID응답 시간을 단축하는 제어 매개변수)

디지털 디자인 소개

G100C 시리즈품질 트래픽 컨트롤러측정 및 제어에 필요한 모든 기본 기능을 갖춘 고정밀 센서 및 디지털 회로가 표준으로 제공됩니다.G100C 시리즈는 표준 RS-485Modbus는RTU는통신 모드.RS-485최대 버스 확장255장치가 동시에 사용됩니다.

응용 분야

l기상과 액상 크로마토그래프

l반도체 공정

l환경 모니터링 장치

l미반응장치 및 재료제조시험장치(CVD는）

l가스 발생기

l배기 혼기 시스템