Mahr MarSurf WI 백광 간섭기

협상 가능업데이트10/07

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개요

MarSurfWI 시리즈는 Mahr의 최신 개발 광학 3D 표면 윤곽계 제품으로, 각종 정밀 부품 및 재료 표면에 대한 나노미터급 측정을 위한 측정 기기이다

제품 정보

MarSurf WI 시리즈는 Mahr의 최신 개발 광학 3D 표면 윤곽계 제품으로, 각종 정밀 부품 및 재료 표면에 대한 나노미터급 측정을 위한 측정 기기이다.백색광 간섭 기술을 원리로 정밀 Z방향 스캐닝 모듈, 3D 모델링 알고리즘 등을 결합하여 부품 표면을 비접촉식 스캐닝하고 표면 3D 이미지를 구축하며, 시스템 소프트웨어를 통해 부품 표면 3D 이미지를 데이터 처리 및 분석하고, 부품 표면 질량을 반영하는 2D, 3D 매개변수를 획득하여 부품 표면 형상 3D 측정을 실현하는 광학 검측 기기이다.

MarSurf WI 광학 3D 표면 윤곽계는 반도체 제조 및 패키징 공정 검측, 3C 전자 유리 스크린 및 그 정밀 부품, 광학 가공, 마이크로 납 재료 및 제조, 자동차 부품, MEMS 부품 등 초정밀 가공 업계 및 항공 우주, 국방 방산, 과학 연구소 등 분야에 널리 응용될 수 있다.초광활에서 거칠음, 낮은 반사율에서 높은 반사율에 이르는 각종 물체 표면을 측정할 수 있으며, 나노에서 마이크로미터급 공작물의 거칠음, 평평도, 미시적 기하학적 윤곽, 곡률 등을 측정할 수 있으며, ISO/ASME/EUR/GBT 4대 국내외 표준에 의거하여 총 300여 종의 2D, 3D 매개변수를 평가 표준으로 제공한다.

응용 테스트 항목: 각종 제품, 부품 및 재료 표면의 평면도, 거친도, 파문도, 면형 윤곽, 표면 결함, 마모 상황, 부식 상황, 공극 간격, 계단 높이, 구부러진 변형 상황, 가공 상황 등 표면 형상 특징을 측정하고 분석한다.

반도체 제조 (조잡함 감소, 라듐 슬롯 윤곽)

광학 부품.곡률 & 프로파일 크기 & 조잡도

3C 전자 (유리 스크린).거칠기

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