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쑤저우공업단지 성한가 5호 비약 신쑤공업방 B동 6F-13
Suzhou Mangofei Instrument Co., Ltd
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쑤저우공업단지 성한가 5호 비약 신쑤공업방 B동 6F-13
히타치의 차세대 고해상도 텅스텐 필라멘트 스캐닝 선글라스 SU3800은 새로운 HexBias 편압 기술을 사용하여 저전압 성능을 크게 향상시켰으며, 동시에 업그레이드된 고감도 배산사 탐지기와 가변 압력 탐지기는 SU3800의 관찰 능력을 한층 더 향상시켰다.SU3800은 IFT 필라멘트 모니터링 기술, 새로운 광경 내비게이션, 통합 스펙트럼, 보고서 내보내기 등의 기능도 추가해 조작도 더욱 간단해졌다.
주요 특징:
| 전자총 | 예비 중텅스텐 필라멘트 |
| 가속전압 | 0.3kV – 30kV |
| 해상도 | 3.0nm@30kV (SE) |
| 15.0nm@1kV (SE) | |
| 4.0nm@30kV (BSE, LV) | |
| 배율 확대 | 5x – 300000x(섀시 배율) |
| 7x – 800000x(디스플레이 배율) | |
| 탐지기 | 2차 전자 탐지기, 고감도 무분할 배산사 전자 탐지기 |
| 가변 압력 탐지기 UVD 2.0* | |
| 저진공 가변 압력 범위 | 6 – 650Pa |
| 견본대(3축 모터) | X: 0 - 100 mm |
| Y: 0 – 40 mm | |
| Z: 5 – 65 mm | |
| R: 0 – 360° | |
| T: -20° - +90° |