자기부상 베어링형 복합 분자펌프 TG-M 시리즈

자기부상 베어링형 복합 분자펌프 TG-M 시리즈

터빈 분자 펌프는 다층 로터 날개와 고정자 날개로 구성되어 있다.다음 그림은 날개의 각도 및 회전 방향의 관계 가스 분자가 고진공 측면에서 펌프 안으로 들어가 로터 날개에 부착 된 후 맥스웰 분포에 따라 다른 방향으로 이탈하는 것을 보여줍니다.그러나 날개의 기울기 각도와 회전으로 인해 분자는 다음 층으로 날아가고 고정자 날개를 지나 다시 아래로 내려가기 쉽다.이와 동시에 하층에서 날아들어 고정엽편을 통과한후 역행하는 기체분자도 회전자엽편과 충돌하여 다시 다음층으로 날아갈수 있다.날개의 각도는 상층의 가스 분자는 (배기 방향의 흐름과 역류의 차이가 비교적 큰) 각도를 통과하기 쉽고, 하층의 가스 분자는 역행하기 쉽지 않은 (배기 방향의 흐름과 역류의 비교적 큰) 각도이다.분자 유역에서 터빈 분자 펌프는 이 로터 날개와 정자 날개를 통해 기본 성능을 발휘한다

주요 특징

・ 기름 없는 초진공 환경

・기계식 기체 분자 배기(동적 배기), 모든 기체에 대한 배기 속도는 대체로 같다

・희귀가스 및 부식성 가스 배출 가능

・연속적으로 유량 가스 배출 가능

・일할 수 있는 압력의 범위가 넓다. (～10-10파).

오사카자기부상 베어링형 복합 분자펌프 TG-M 시리즈

자기부상 베어링을 사용하여 기름이 없는 배기를 실현하고 유지 보수 주기가 길다.배기속도 300L/s~3400L/s의 제품을 제공합니다.

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

새로운 자기부상 베어링형 터보 분자 펌프 TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M의 특기

• 전력 절약 설계

• 작업 데이터, 베어링 접촉 횟수, 기종 정보 등은 모두 분자펌프 본체에 저장할 수 있음 ※ 정비 시 컨트롤러를 교체하더라도 데이터 이동 가능

• 다양한 통신 사양(EtherCAT에 해당)

• 국제 규격

• CE, SEMI-S2, NRTL 준수

  응용 프로그램:

  
  

• 반도체 제조 설비

• FPD 제조 장비

• 태양전지 제조 설비

• 유리/렌즈 등 광학부품 가공

• 박막 가공

• 가속기 / 우주 환경 실험 장비

  기술 매개 변수:

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