MADlink 100 미세 공경 빠른 측정기

MADlink 100 미세 공경 빠른 측정기얇은 조각의 미공 지름을 신속하게 측정하는 데 전문적으로 응용되는 광학 기기로, 전통적인 방법인 광학이 현미경 영상 처리 기술과 전자 현미경을 채용해도 얇은 조각의 미공 지름에 대한 전체 검사를 실현할 수 없는 기술 난제를 효과적으로 해결하였다.슬라이버 전역 범위(최대 면적 5.0x4.5mm)의 모든 미세 구멍을 한 번에 찍어 슬라이버에 있는 모든 미세 구멍의 공경 특징, 공경 분포 및 미세 구멍 위치 분포도를 출력할 수 있는 것이 특징이다.

그림 1: 마이크로칩 샘플도

슬라이버 마이크로 구멍 지름은 평면 슬라이버에 있는 크기가 마이크로미터 심지어 마이크로미터 크기에 달하는 작은 구멍의 지름을 말한다.

일반적인 광학현미경은 광학연사현상의 제한을 받아 최고해상도가 0.5μm 정도에 불과하기 때문에 일반적인 광학현미경으로 1μm 정도의 미공을 측정하면 오차가 너무 큰 것이 분명하다.게다가 이때는 40배 이상의 현미물경만 사용할 수 있고, 시야 크기는 0.2mm 또는 그 이하에 불과하다.얇은 조각에 제작되고 위치 분포 범위가 수 밀리미터에 달하는 마이크로 구멍 조각에 대해서는 전역을 한 번에 포착할 수 없다.파티션 스캔을 통해 측정하더라도 시간이 많이 걸릴 수 있으며 검사 누락 문제가 발생할 수밖에 없습니다.만약 저배율 현미경을 사용하여 전역 촬영 측정을 한다면, 예를 들어 2배의 경우 저배율 물경의 수치 공경이 매우 작기 때문이다 (2배율 물경의 수치 공경은 0.06에 불과하다), 공경 제한으로 인한 연사 반점 (애리반점) 의 직경은 10μm 정도에 달할 수 있다. 이런 렌즈로 수십 마이크로미터 급의 마이크로 구멍을 관찰하면 현저한 모호가 생기지만 1μm 급의 마이크로 렌즈에 대한 일반 광학의 구멍은 이미 반영할 수 없다.그러므로 광학현미증폭과 디지털영상처리기술을 기반으로 한 측정시스템은 이런 미공경의 전역쾌속측정을 완성하기 어렵다.전자현미경은 비록 더욱 좋은 경심과 분별능력을 갖고있지만 단차측정시야가 더욱 작고 사용원가도 매우 높아 얇은 조각의 미공경에 널리 응용되는 쾌속측정에 적합하지 않다.

그림 2: 작동 원리도

MADlink 100 미세 공경 빠른 측정기진리광학팀이 연구개발한 광통량미공경측정법을 채용하여 미공을 통과하는 광통량과 구멍면적이 정비례하는 관계를 리용하여 다음과 같은 그림에서 본고는 광학현미영상방법중의 (영상렌즈) 광학연사가 미공경치수측정의 정확도에 대한 제약을 효과적으로 회피하였다.

그림 3: 광선속 - 구멍 지름 커브 관계도

이미지 센서가 감지한 각 구멍의 광선속 값에 근거하여 마이크로 구멍의 지름을 계산하고, 동시에 마이크로 구멍 자체의 광학 연사로 인한 광 에너지 손실을 수정함으로써 마이크로 구멍 지름의 전역을 한 번에 포착하여 영역 내의 모든 마이크로 구멍의 지름에 대한 측정을 빠르게 완료할 수 있으며, 마지막에는 마이크로 구멍 지름 분포 곡선과 공간 위치 분포도를 출력할 수 있다.

그림 4: 일반적인 분석 테스트 보고서