어린 왕자 SUN ENERGY 자외선 오존 세척 장비 UV 세척

고객의 요구에 맞게 맞춤 구성

이 자외선 조사 설비는 로봇 팔 세척 로봇을 갖추고 있다.그것은 원료 운송 자외선 처리 저장을 포함한 12인치 크기의 웨이퍼에 대한 일련의 작업을 자동으로 수행할 수 있다.

편안한 운영 환경

웨이퍼 이동에 이상적인 로봇 팔 세척 로봇을 장착하여 고속,
고정밀도.또한 웨이퍼 이외의 다른 가공소재를 처리할 수 있는 다양한 고정밀 전송 장치를 제공합니다.

최대 300mm(12인치)의 웨이퍼 지원

최대 300mm(12인치) 크기의 장치를 제조할 수 있습니다.
유리 기판 등 비결정 원재료의 모양과 크기에 따라 최적의 자외선 조사 장비도 추천할 수 있다.

자외선 조도 측정 모드를 채택하면 안정적인 처리를 실현할 수 있다

자외선등의 투사도는 시간이 지남에 따라 낮아진다.자외선 투사 측정 모드는 처리 전에 자동으로 투사를 측정하고 측정된 투사 값에 따라 필요한 투사 시간을 자동으로 계산하고 설정합니다.이는 일정한 자외선 노출량에서 안정적인 처리를 보장한다.

조명 설계 기술

우리는 광학설계기술을 운용하여 자외선조사량을 계산하고 자외선등의 배치를 최적화하며 자외선을 유효조사구역에 균일하게 분포시켜 고효률적이고 정확한 성능설계를 실현한다.우리
또한 가공소재의 가공 온도와 필요한 조명 강도와 같은 고객의 요구에 따라 최적화된 자외선 조사 장비를 제공할 수 있습니다.

보다 안전하게 사용

이것은 안전한 자외선 조사 장치로 외부로 오존이나 자외선이 누출되지 않는다.그것
불이 켜져 있을 때 문이 열리면 자동으로 꺼지는 연결 잠금 기능이 기본으로 제공됩니다.

오존 배기풍기와 호스는 모두 표준 배치이다.

자외선등에서 발생하는 오존은 풍기를 통해 배출되며 자외선등도 냉각해야 한다.배출된 오존실외에 배출하거나 촉매나 다른 방법으로 분해한 후 배출해야 한다.