LAGM 레이저 부식 다중 채널 원자 흡수 스펙트럼 시스템

◆ 초속 레이저와 전류계 거울은 최대 12인치 (300mm) 의 웨이퍼를 정확하게 부식시킬 수 있다.

◆ 소형 폐쇄 챔버를 사용하지 않고도 웨이퍼 시료를 레이저로 부식할 수 있으며, 생성된 입자는 분사기에 의해 흡입되어 가스교환장치(GED)를 통해 전감 결합 플라즈마 질량분석기(ICP-MS)에 도입된다.

◆ 이중 주사기 모델인 MSAG_DS는 표준 가입법을 이용해 드라이 플라즈마 조건에서 ICP-MS를 정량 분석할 수 있다.

◆ 초미량급의 점과 면의 경사도 분석이 가능하다.

◆ 윤곽선 및 불순물 분석을 더 깊이 있게 (> 300미크론) 할 수 있다.

◆ 12인치 (300mm) 에서 6인치 (150mm) 의 웨이퍼로 연결되는 두 개의 부하 포트, 조준기와 웨이퍼 전송 로봇이 통합되어 전자동 작동 (옵션)

LAGM 소프트웨어는 ICP-MS 소프트웨어와 통신하여 전자동 조작을 실현했다.

_-교정 모드: 사용MSAG_DS는레이저 부식 샘플을 얻을 때의 교정 곡선.

_-전체 스캐닝 모드: 전체 웨이퍼는 분석 시간에 따라 레이저 부식됩니다.LAGM 소프트웨어는 X-Y-Z-○ 플랫폼의 이동 속도를 자동으로 계산하여 전체 웨이퍼를 균일하게 부식시킨다.

_-스펙클 모드: 지정한 여러 스펙클을 자동으로 분석할 수 있습니다.KLARF 형식 파일에서 스펙클 정보를 가져올 수 있습니다.

_-선 모드: 두 점으로 지정된 선을 지정된 너비로 연속적으로 분석합니다.

_-블록 모드: 선 모드와 유사하지만 지정된 크기의 블록 (예: 1mm×1mm) 은 지정된 시간에 부식됩니다.일정 기간 기다리면 부식 블록 옆에 있는 블록이 부식됩니다.이 모드는 선 모드보다 공간 해상도가 우수합니다.

_-깊이 횡단면 모드: 깊이 횡단면 정보를 얻기 위해 지정된 크기의 동일한 위치를 반복적으로 분할합니다.깊이 횡단면의 해상도는 한 레벨을 스윕한 후 간격을 설정할 수 있습니다.

_-기울기 모드: 웨이퍼가 기울어진 여러 지정된 영역을 자동으로 분석할 수 있습니다.

Expert_LA 모델에는 각 웨이퍼에 대한 레시피를 설정하여 웨이퍼 샘플을 전자동 분석할 수 있는 2개의 로드 포트가 있습니다.부하 포트 중 하나에서 샘플 웨이퍼를 꺼내 웨이퍼를 분석한 후 다른 부하 포트에 다시 놓습니다.