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이메일
2822343332@qq.com
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전화
15810615463
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주소
북경시 순의구 마파향열사계3구
북경정과지창과학기술발전유한회사
개요
JK-VRP300은 웨이퍼의 용접 또는 박막 이동을 위해 처리 가능한 최대 샘플 크기가 300mm * 300mm * 70mm인 고온 진공 열전압기이다.기기의 최고 작동 온도는 500 ℃이며, 이 온도에서 시료에 부과 할 수있는 최대 압력은 30T입니다.
제품 정보
JK-VRP300는고온진공열전압기
JK-VRP300은고온웨이퍼 용접 또는 필름 이동을 위해 처리 가능한 진공 열전압기 최대 샘플 크기는 300mm*300mm*70mm。기기의 최고 작동 온도는 500 ℃ 이며, 이 온도에서 시료에 가해질 수 있는 최대 압력은 30T이다。
기본 매개변수 |
전원 공급 장치:AC220V , 50Hz ，총 전력: 약 4.5KW 두 조각 300mm * 300mm 가열 플랫폼, 내열 금형강으로 제작, 최고 500 ℃ 의 온도를 견딜 수 있다 가열관을 상하 가열 플랫폼의 내부에 배치하여 빠른 가열 효과를 얻다 두 개의 정밀한 온도 조절기가 독립적으로 두 개의 가열 플랫폼을 제어하여 설치할 수 있다 18단 온도 상승 프로그램 |
상하 가열 플랫폼 및 진공 캐비티 |
상하 가열 플랫폼은 모두 진공 챔버 안에 설치되어 있으며, 상하 가열 플랫폼의 크기:300 * 300mm 상하 가열판 평면도<0.02mm(유효면적 300mm*300mm 범위에서) 진공 캐비티 채택 304 스테인리스 스틸 제작 및 용접 강화 리브 (진공 상태에서 강체 변형 방지), 진공도 10 -1아빠 샘플 최대 크기에 넣을 수 있습니다:300mm * 300mm * 70mm 디지털 진공계 1개 강체 에 하나 가 설치되어 있다6.35의 카드 커버 커넥터는 공기 흡입구로 사용되며, 하나의 전자 밸브를 통해 공기 흡입의 단절을 제어한다 강체 측면에 하나 있어요.8mm 보탑 공기 주둥이의 배출구, 전자기 밸브를 통해 배출의 통단을 제어한다 강체 측면에 하나 있어요. 고객이 다양한 유형의 진공 시스템과 쉽게 일치할 수 있도록 KF25의 진공 흡입 커넥터 |
온도 제어 시스템 |
두 개의 정밀한 온도 제어 시스템을 설치할 수 있다 18단 승강 온도 프로그램, 온도 제어 정밀도는 ± 1 ℃, 500도 항온시의 온도 파동 ± 5 ℃, 각각 독립적으로 두 개의 가열 플랫폼을 제어한다.
온도 제어 시스템 채택 PID 방식은 과열 및 패리티 보호를 통해 온도를 조절합니다. 최대 작동 온도:500℃（＜30분） |
압력 제어 시스템 |
최대 압력:30T 가압 방식: 전동 가압 압력 정밀도: 0.01톤 실린더 지름 Φ80 mm; 오일 실린더 스트로크 0-70 mm; |
진공 펌프 |
공기 흡입 속도:8 (2.2) m³/h (L/S) 극한 압력: 기진관 5*10 - 2Pa 기진개 10Pa 전력:0.37kw의 필요한 기름량:0.6 ~ 1.0L 공기 흡입구:KF25는 |
폼 팩터 크기 |
580 * 680 * 120mm |
무게 |
약 580Kg의 |
품질 보증 |
1년 품질 보증 기간, 평생 유지 관리 특별 팁: 가열 부품, 쿼츠 윈도우 등과 같은 소모품 부분은 부식성 가스 및 산성 가스 사용으로 인한 손상에 포함되지 않습니다. 보증 대상에서 제외됩니다. |
