JC 나비티 전자빔 노출 시스템(NPGS 나노그래프 발생기)

SEM/FIB 기반 NPGS V9.1 빔 노출 시스템

1) NPGS는 기존의 SEM, STEM 또는 FIB 등을 기반으로 전자빔 제어 시스템을 추가하여 컴퓨터 인터페이스를 통해 전경의 전자빔의 벡터 스캔을 제어하여 도면을 직접 새긴다.

2) NPGS 시스템은 기존 SEM의 관측 기능을 겸비하고 있다.SEM 자체의 기능에는 영향을 주지 않습니다.

3) 강력한 성능, 간편한 운영, 유연한 사용

4) NPGS와 현재 주류를 이루고 있는 SEM 또는 FIB 등은 모두 배합할 수 있다.

NPGS V9.0은 스캔 렌즈의 전자빔을 제어할 수 있는 소프트웨어 프로그램이다.선글라스를 기반으로 한 전자빔 노출은 간단하게 두 부분으로 나뉘는데 그것이 바로 쓰기 디자인과 도형 운행이다.쓰기 설계는 NPGS에서 임의로 제공하는 DesignCAD 프로그램을 통해 수행됩니다.이 CAD 프로그램은 빔 노출을 위한 명령을 추가하도록 수정되었습니다.그래픽 실행에는 NPGS에서 그래픽의 각 점의 위치와 노출 시간을 계산하는 매개변수 설정이 포함됩니다.

NPGS 하드웨어 보드: 사용자 정의 마이크로 섀도우 보드는 컴퓨터 워크스테이션 내부의 고속 PCIe 슬롯을 기반으로 설치됩니다.주요 특징은 다음과 같습니다.

1.16비트 고속 디지털 모드 변환 출력, X, Y 듀얼 채널 동시 출력, 동시 스캔 주파수 5MHz, 호환 6MHz, 전자빔 체류 시간 최소 증가 0.5나노초, 모든 주파수에서 이 해상도에 도달할 수 있다.

2. 쓰기 스캔 방식: 벡터 스캔 방식과 비트맵 스캔 방식.

3. 통합된 전자빔 브레이크는 출력을 제어한다.

4. 이미지 가져오기 통합 16비트 모드 변환 입력을 사용합니다.

5. PCIe 슬롯을 기반으로 설치가 간편하고 안정적으로 작동합니다.

전자빔 차단기 (빔 브레이크): 전장형 고속 빔 브레이크.NPGS 시스템도 번들 없는 브레이크 작동을 지원한다.

피코암페어계: SEM 기반 전자빔 노출 시스템은 폭격 샘플의 전자빔 흐름을 정확하게 읽을 수 있는 피안계가 필요하다.일반적으로 선글라스 탑재대 밖에서 피안계를 연결하여 샘플 전류 출력과 연결해야 한다.

선글라스 빔 스트림: NPGS는 패러데이 컵 및/또는 피코 암페어에서 판독할 수 있는 연결 제어를 선택할 수 있지만, 대부분의 사용자는 수동으로 제어하는 패러데이 컵과 피코 암페어를 사용합니다.

전경 파라미터 및 전동대 제어: 몇 가지 통용되는 전경 디지털 드라이버와 탑재대 드라이버를 무료로 제공한다.직렬 통신 프로토콜이 있는 경우 이 시스템은 외부 제어를 지원합니다.