지능형 PECVD 시스템

Name: 지능형 PECVD 시스템
Brand: 안휘 베이크 설비 기술 유한 회사
Availability: InStock

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개요

PECVD-III-500A-D210은 지능형 PECVD 시스템입니다.이 설비는 주로 네 부분으로 나뉜다: 다온 구역 파이프식 난로, 무선 주파수 부품, 가스 회로 시스템 및 자동화 제어 소프트웨어 통합 시스템.

이 설비는 주로 네 부분으로 나뉜다: 다온 구역 파이프식 난로, 무선 주파수 부품, 가스 회로 시스템 및 자동화 제어 소프트웨어 통합 시스템.

1. 열림식 가열로

가열로 안에는 초경산화 알루미늄 섬유 재료를 사용하고 K형 열전지를 배합하여 6시 온도를 조절한다;설비의 승강온도제어가 령활하고 가열로가 전동으로 열리면 고객이 수리반응관을 교체하는데 편리하다.

2. 가스 회로 시스템

질량유량계가 다중 기체를 서로 다른 유량에 따라 혼합 배합할 수 있도록 정확하게 제어할 수 있으며, 다른 단독 1은 거품기를 거친 후 반응관 안으로 들어간다.

3. 무선 주파수 구성 요소

1000W의 고성능 무선 주파수 휘광은 균일하여 전체 반응 강체가 휘광 생성 구역에 위치할 수 있다.

4. 지능형 제어 시스템

지능형 PID 흐림 제어를 사용하여 30단 프로그래밍 제어가 가능합니다.초온화 단짝 경보 기능을 갖추고 있다.

최고 온도	1200℃
지속 작동 온도	≤1100℃
온도 상승 속도	≤10℃/분
온도 조절 정밀도	±1℃
가열 소자	저항사
열전대	K형
온도 조절 방식	모호 PID 제어 및 자체 정정 조절, 인공 지능화 30단 프로그래밍 제어 가능, 초온화 단짝 경보 기능, 휴먼 컴퓨터 인터페이스에 PLC 제어, 15인치 LCD 제어, 디지털 공정 제어 계기 이중 제어, 공업 지능 제어 온도계와 소프트웨어를 사용하여 이중 제어를 실현
가열 총 전력	≤15KW
가열 영역 크기	300+300+300mm
무선 주파수 전력	1000W
장치 크기	25508501600mm
장치 무게	약 600kg

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