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주소
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제품 카테고리
반나 자동화 계기(상해)유한공사
개요
IR-400 챔버 세척 종점 모니터링을 위한 고급 가스 모니터
제품 정보
IR-400은 퇴적 과정 중 실시간으로 강실청을 모니터링할 수 있다종점을 씻다.IR-400은 세척 프로세스를 최적화하여 세척 시간과 가스 사용량을 줄였습니다.세척 가스 사용량 감소는 캐비티 손상을 줄이고 모든 시스템 부품의 수명을 증가시킵니다.
