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제품 카테고리
반나 자동화 계기(상해)유한공사
개요
일본 HORIBASTECE40MK3/E50MK3 품질 트래픽 컨트롤러
제품 정보
일본 HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 트래픽 컨트롤러
일본 HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 트래픽 컨트롤러는 품질 트래픽 컨트롤러에 필수적인 품질 특성을 변경하지 않고 철저히 원가 절감을 실현한 양산 제품이다.소재 및 누출 사양은 일반 모델의 SEC-400, SEC-500 시리즈와 완전히 일치합니다.주요 용도는 공정용 기체 유량 제어, 중복성에 중점을 두고 기체의 종류, 유량을 한정하여 대량으로 생산하여 대폭적인 원가 절감을 실현하였다.정량, 장시간의 안정적인 제어 중복 제어의 장소에 가장 적합하다.연구소의 간편한 트래픽 제어에도 적용된다.
일본 HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 트래픽 컨트롤러 특징
1.광범위한 용도
2. 원가 우위를 추구하고 원가 절감을 실현한다
일본 HORIBA STEC E40MK3
일본HORIBA STEC E40MK3/E50MK3트래픽 컨트롤러 사양
| 모델 | SEC-(품질 트래픽 컨트롤러) | E40/E40MK3는 | E50/E50MK3는 |
| SEF-(질량유량계) | E40은 | E50는 | |
| 적용 가스 종류*1 | 비부식성 가스(MK3 모델은 N2, O2, 공기,H2、Ar、He) | ||
| 가스 접촉부 재질 | SUS316L. 불화고무.PTFE、자성 스테인리스강 | ||
| 밸브 모델 | 전원이 켜지지 않은 경우 끄기 | ||
| 표준 트래픽 스레드(N2 해당 F.S.) | 10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
| 트래픽 제어 범위 (SEC 시리즈용) |
2 ~ 100 % F.S. | ||
| 유량 측정 범위 (SEF 시리즈용) |
0 ~ 100 % F.S. | ||
| 응답 속도 | 1초 이내(T98) | ||
| 유량 정밀도 | ±1% F.S. | ||
| 직선성 | ±0.5% F.S. | ||
| 반복성 | ±0.2% F.S. | ||
| 작업 차압 값 (SEC 시리즈용) |
10 SCCM ~ 5 SLM: 50 ~ 300kPa (d) 10〜30 SLM: 100 ~ 300kPa (d) | ||
| 사용 압력 (SEF 시리즈용) |
300kPa(G) 이하 | ||
| 내압성 | 1MPa(G) 이하 | ||
| 외부 유출율 | 1×10-8Pa·m3/s(He) 이하 | ||
| 사용 환경 온도 | 5 ~ 50 ℃ (정밀도 확보: 15 ~ 35 ℃) | ||
| 트래픽 설정 신호 | 0.1 ~ 5VDC(입력 임피던스 1M이상)/2 ~ 100% F.S. | ||
| 트래픽 출력 신호 | 0 ~ 5VDC(최소 하중 저항 2kº) | ||
| 구동 전원 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | +15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
| 표준 커넥터*2 | 1/4SWL 유형 | ||
