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상해시 가정구 백은로 399호 정정빌딩
차오하기전설비(상하이)유한공사
상해시 가정구 백은로 399호 정정빌딩
Honeywell Honeywell 증폭 가스 품질 유량 센서 AWM40000 시리즈
보상식 또는 비보상식.±25.0 SCCM、1.0 SLPM、6.0 SLPM。아날로그 출력.
마이크로브릿지 가스 품질 유량 센서의 작동 원리는 열 전달이다.가스 질량 유량은 유도를 통해 감지 컴포넌트의 표면을 통과합니다.출력 전압은 포장된 수출입을 흐르는 공기나 기타 기체의 질량과 정비례한다.특수 설계된 케이스는 미세 패브릭 감지 부품을 통해 공기 흐름을 정확하게 유도하고 제어합니다.패키지된 기계식 설계는 인쇄 회로 기판에 쉽게 설치할 수 있습니다.
마이크로 브리지 가스 품질 유량 센서에는 * 마이크로 구조 기술을 기반으로 한 실리콘 칩이 포함되어 있습니다.이 칩은 박막과 단열교 구조로 가열기와 온도 감지 소자를 포함하고 있다.브리지 구조는 칩을 흐르는 공기나 다른 가스 기류에 빠르고 민감하게 대응할 수 있다.중심 가열 컴포넌트의 양쪽에 있는 이중 감지 컴포넌트는 공기 흐름이 흐르는 방향과 속도를 나타낼 수도 있습니다.레이저 보정의 두꺼운 필름과 필름 저항은 각 센서 사이에서 항상 일관된 교환성을 보장합니다.
마이크로브리지 가스 질량 유량 센서는 질화규소 박막에 싸인 열 저항을 이용한다.이 저항들은 부상 상태를 나타내며 실리콘 조각의 부식 챔버 위에 두 개의 다리를 형성합니다.칩은 정확한 사양의 공기 흐름 채널에 배치되어 중복 트래픽 응답을 제공합니다.유량 감지 브리지 아래에 공강을 부식함으로써 발열기와 감지 저항은 효율적인 열 격리를 실현할 수 있다.마이크로브릿지 가스 품질 유량 센서의 작은 크기와 열 격리 기능은 공기 흐름에 대한 매우 빠른 응답과 높은 감도를 제공합니다.
휘스톤 듀얼 브리지는 공기 흐름 측정을 제어합니다. 하나는 폐쇄 루프 발열기 제어를 제공하고, 다른 하나는 이중 감지 부품을 포함합니다.가열기 회로는 질량 유량과 정비례하는 출력을 제공함으로써 환경 온도 변화로 인한 출력 변화를 낮춘다.이 회로는 가열기의 온도를 주변 온도 (160 °C) 보다 높게 유지하고 주변 온도는 칩의 열 저항 측정으로 알 수 있습니다.센서의 출력은 전원 전압과 비례하며, 또한 휘스톤 브리지 회로의 차분 전압과 대응한다.
주의
일부 응용 프로그램에서 발생할 수 있는 먼지 오염의 영향을 낮춘다.공기 흐름에 존재할 수 있는 먼지 입자가 칩 표면에 평행하게 칩을 통과하도록 설계되었습니다.또 마이크로 패브릭 칩에서 발생하는 열 이동 효과는 다리 구조의 마이크로미터급 먼지 입자를 옮길 수 있다.
간단한 여과망을 사용하여 칩 가장자리와 채널 표면에 먼지가 부착되는 것을 방지할 수 있습니다.대부분의 응용에서 기류장치의 상류측에 일회용 5마이크로메터의 려과망을 련결하기만 하면 충분한 려과효과를 얻을수 있다.
참고: 제품 손상
AWM 시리즈 마이크로브릿지 가스 품질 유량 센서는 액체 유량을 측정하는 데 적용되지 않으며, 액체가 센서를 통과할 때 센서가 손상될 수 있습니다.
Honeywell 센서 AWM40000 시리즈*공급하다.
제품 매개 변수:
전원 전압: 최소 8.0Vdc, 일반 10.0Vdc, 최대 15.0Vdc
보정 온도 범위: -25°C ~ 85°C [-13°F ~ 185°F]
출력 온도표류:
±6% 판독
±2.5% 판독
신호 조절: 비대면 (mV).
조정점의 출력 전압:
1000 sccm(1 SLPM)에서 54.7 mV dc ± 3.7 mV dc
25sccm에서 8.5mV dc±1.5mV dc
작동 온도: -40°C ~ 125°C [-40°F ~ 251°F]
충격: 100g 피크(5 drops, 6 axes)
보관 온도: -40°C ~ 125°C [-40°F ~ 251°F]
트래픽 / 압력 범위
±25의 sccm
±1000 sccm (1 SLPM)
전력 소비량:
최대 75mW
최대 60mW
공통 모드 압력
150 psi의
25 psi의
일반 모델은 다음과 같습니다.AWM43600V,AWM5104VN ,AWM42150VH,AWM5101VN,AWM3150V,AWM3200V,AWM3300V,,AWM3100V
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