퇴적 설비용 고온 분체 가스 유량 컨트롤러 및 유량계

하나,제품 개요：퇴적 설비용 고온 분체 가스 유량 컨트롤러 및 유량계

u고온 기체의 체적 유량을 신속하고 정확하게 측정할 수 있다/질량 유량

u사용자 정의 고속 비례 제어 밸브를 사용하여 매체 부피 유량/정확한 품질 흐름 제어

u아날로그 입력 출력과RS-485는디지털 통신

u내부에 이동식 어셈블리 및 열 컴포넌트가 없으며 진동 테스트를 통해 설치 방향에 민감하지 않습니다.

u내부 보상형 층류 압차 기술을 채용하여, 큰 유량 범위의 하류체가 여전히 층류 운동을 유지하도록 하였다.

u제공기술 컨설팅, 신속한 장비 교정 서비스 및 평생 무상수리 서비스를 포함한 사용자 지원

2. 제품 응용:

-- 세라믹 공정, 반도체, 광섬유 등 업계에서 고온 가스를 사용하는 퇴적 장비와 같은 퇴적 공정 분야에 널리 활용되고 있다.

-- 다변량 측정 및 50:1 측정 거리 조정 가능으로 열식 고온 분체 가스 질량 유량 컨트롤러와 유량계 하나만으로 여러 장치의 성능을 대체할 수 있음.

--정밀도0.5%FS, 반복성0.5%미치지 못하다200밀리초의 제어 응답 시간으로 고온의 과정 가스가 원활하게 작동할 수 있도록 합니다.

셋,기술 매개변수：퇴적 설비용 고온 분체 가스 유량 컨트롤러 및 유량계