고압 품질 유량 컨트롤러

하나,고압 품질 유량 컨트롤러디자인 특징

열식 원리
일체형 설계
만량정종5SCCM에1000SLPM의
응답 시간 초과 없음 2 초
최대 작동 압력20.7MPa의
설치 위치에 민감하지 않음
316SS재료, 부식성 가스 측정 허용
직선 세그먼트 설치 요구 사항 없음
단일 전원 공급 장치

2.고압 품질 유량 컨트롤러기술 매개변수
트래픽 범위:0-5SCCM에0-1000SLPM N 2, 구체적으로 표 1을 참조하십시오.
응답 시간: 1 ～ 2 초
정밀도: ±1%전체 거리 (제거204A유형)
---------± 1± 1.5%.전체 거리 (204A유형)
반복성: ±0.2%만량정
측정 비율:50:1（2%-100%만량정)
환경 및 작동 온도: -10 ～ 70 ℃
운영 부담:3000PSIG의（20.7MPa의), 구체적으로 참고 자료

제로 드리프트: ±0.05 %만량정/℃
범위 이동: ±0.05 %독수/℃
압력 이동:0.1%/atm(상대N 2）
설치 방향: 위치에 민감하지 않음
예열 시간: 10 분
전기 연결: 카드 ( 20 바늘) 또는D유형 ( 9 바늘)
설정점 입력 트래픽 신호 출력:0-5VDC/0-5VDC；4-20mA/4-20mA

전원 공급 장치:
전압 출력: +12(± 5 ％)(에만 해당)0-5VDC와1-5VDC트래픽 신호 출력) 또는15(± 10 ％(VDC)
전류 출력: +15(± 5 ％)또는24(± 15 ％(VDC)
전류 소비: <250mAdc는
무게: 표 1 참조

3. 구조재료

바디:316SS
센서 구성 요소:316LSS는
구멍:316SS
밸브 구성 부품 (접액):
302SS，316SS，430FSS는，샌드비크?1802(제거 202 、 221 、 222 와 251 유형);302SS，316SS，샌드비크?1802（ 202 、 221 、 222 와 251 유형)
재료 밀봉 ("O는유형 루프 및 밸브 받침대):
소스 N，EPDM，칼레즈，네오프렌，Viton은(제거202A、203A와204A유형);소스 N，Viton은（202A、203A와204A유형)
프로세스 연결:316SS

4. 선택 테이블