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안휘성 합비시 촉산구 과학원로 10호
중미합자허페이커징재료기술유한공사
개요
PCE-22는 가열할 수 있는 자외선 오존 세척기로, 가열 온도가 150 ℃ 에 달한다.이 설비는 각종 기판을 세척하는데 사용할수 있어 고품질의 박막을 제작하는데 기초를 닦아놓았다.포토레지스트를 제거하고 표면의 윤습성을 개선하며 SEM & amp를 세척하는 데 특히 적합합니다.TEM，자외선 대 중합체 변성 등.$r$n 자외선 오존 세척은 일부 유기 화합물을 제거하는 데 특히 적합한 산성, 건조 재료에 손상이 없는 원자 수준의 세척 수단을 제공합니다.자외선등은 주로 185nm와 254nm의 두 파장의 빛을 발한다. 그중 185nm의 빛은 공기 중의 산소를 오존으로 변화시킨다.
제품 정보
PCE-22는 가열할 수 있는 자외선 오존 세척기로, 가열 온도가 150 ℃ 에 달한다.이 설비는 각종 기판을 세척하는데 사용할수 있어 고품질의 박막을 제작하는데 기초를 닦아놓았다.포토레지스트 제거, 표면 윤습성 개선, SEM & TEM 세척, 자외선 대 폴리머 변성 등에 특히 적합하다.
자외선 오존 세척은 산성이 없고 건조하여 재료에 손상이 없는 원자 수준의 세척 수단을 제공하며, 특히 일부 유기화합물을 제거하기에 적합하다.자외선등은 주로 185nm와 254nm의 두 가지 파장의 빛을 발한다. 이 중 185nm의 빛은 공기 중의 산소를 오존으로 변하게 하고, 254nm는 화합물 중의 키(특히 탄소키)를 파괴할 수 있다.그래서 이 두 파장의 빛 조합은 유기화합물을 효과적으로 제거할 수 있다.
기술 매개변수
전원 |
AC 208~240V，단상 50/60Hz |
자외선등 |
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캐비티 & 샘플대 |
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배기구 |
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폼 팩터 크기 |
510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) |
순량 |
28kg |
품질보증기간 |
1년 보증 기간 평생 유지 관리 (자외선 불포함) |
적용 |
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