일본 HORIBASTEC-Z512MGX 디지털 품질 트래픽 컨트롤러

개요
질량유량계는 반도체 제조 설비에서 매우 중요한 부품이다.그것의 작업 안정 여부는 종종 반도체 공정의 성패의 핵심 요소가 된다.
HORIBA STEC,전 세계적으로 시장 점유율이 35% * 1을 넘는 유량계 생산업체로서 오랫동안 일관되게 반도체 산업에 고품질, 다기능 제품을 제공해 왔다.이제 새로운 기술을 휴대하고 HORIBA STEC은 새로운 품질 트래픽 컨트롤러: Z500 시리즈를 전 세계에 보급하고 있습니다.
Z500X 시리즈는 기존 모델에 비해 새로운 돌파구를 마련했으며 트래픽 제어 기술의 미래를 바꿀 운명이다.고객이 필요로 하는 트래픽 제어의 모든 기능을 제공하는 동시에 복합 가스, 복합 트래픽의 전환을 실현했다.고객은 공정 요구 사항에 따라 유량계 가스 종류 및 측정 * 2를 쉽게 변경할 수 있습니다.
또한 제품 소재의 기술 혁신을 통해 Z500 시리즈는 RoHS 녹색 제품의 설계 요구 사항을 완벽하게 충족시켜 고객에게 제품 가치를 향상시킵니다.
고성능 Z500 시리즈 유량계는 더 많은 놀라움을 선사할 것입니다.전 세계는 반도체 산업 전체를 바꿀 이 새로운 품질 유량계의 탄생을 목격하고 있다.
*1 VLSI's 2007 연구 보고서 참조.
*2 복합 가스, 복합 유량 기능.
피쳐
고정밀도: 유량값 ±1.0% 설정.
MFC의 선형 정밀도는 여러 가지 근사 곡선으로 보상되며 이 기술은 각 제어 범위 내에서 높은 제어 정밀도를 보장합니다.HORIBA STEC은 다양한 실제 가스 종류의 제어 정밀도를 개선하기 위해 표준 가스 측정 시스템을 개발하고 많은 실험을 바탕으로 다양한 공정 가스의 교정 데이터를 수집합니다.
고속 응답
SEC-Z500X는 최근 개발된'변경 가능한 PID'시스템을 사용하여 임의의 두 설정 트래픽 포인트 간 변경이 1초 이내에 완료되도록 보장하며, 서로 다른 트래픽을 설정할 때 PID 데이터가 자동으로 조정되며, 가스 종류와 트래픽 범위가 변경된 후에도 PID 데이터가 자동으로 최적화되어 고속 응답이 가능하다.
복합 가스, 복합 유량 방안
HORIBA STEC 신제품은 고객이 현장에서 가스 종류와 유량을 쉽게 변경할 수 있도록 했다.우리의 Z500 설정 소프트웨어는 간단하고 사용하기 쉽다.더 좋은 것은 이러한 변경이 완료되면 MFC를 시스템에서 분리할 필요도 없다는 것입니다.이렇게 하면 고객의 준비물 수량을 크게 줄일 수 있을 뿐만 아니라 시간과 비용도 절약할 수 있다.
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