일본 HORIBASTEC-N112MGMSEN-114MGM 가스 품질 유량 컨트롤러

개요
다년간 첨단기술제품을 선도해온 시장발전경험을 바탕으로 우리는 고객의 수요를 만족시키는 일련의 품질류량계제품을 제공하였다.
가스는 태양 전지, 연료 전지의 연구 및 제조에서 다양한 산업 분야에 널리 사용되고 있으며, 큰 관심을 얻은 재생 에너지 프로젝트는 전 세계 각지의 지원을 받고 있습니다.반도체, 액정패널, 전자업계에서 사용되는 발광다이오드(LED)의 연구와 제조까지.이러한 제조 공정에서 각종 기체의 유량을 정확하게 측정하고 통제함으로써 작업 효율을 현저하게 향상시켰고, 나아가 에너지를 절약하고 생산력을 향상시켰다.HORIBA STEC은 반도체, 광전 및 LED를 포함한 일류 제조 공정에 서비스를 제공하는 품질 유량계의 발전을 위해 노력하고 있으며 고객의 요구를 충족시키기 위해 새로운 제품을 계속 개발 할 것입니다.
피쳐
HORIBA STEC은 고객의 요구를 충족하는 모든 제품을 제공합니다.

모델	신호 전송 모드 선택	전원 선택
SEC-N102 시리즈	디지털 신호 전송 ▶RS485 F-NET 프로토콜 아날로그 신호 전송 ▶0 ~ 5VDC	±15VDC (±5%) HORIBA STEC'S는 PE 시리즈의 전원 공급 장치를 제공합니다.
SEC-N104 시리즈	DeviceNet 신호 전송	ODVA 표준 준수
SEC-N106 시리즈	PROFIBUS 신호 전송 아날로그 신호 전송 ▶0~5VDC, 0~10VDC 4~20mA	PROFIBUS 표준 준수 24VDC (13에서 32VDC)

이 모델은 작은 트래픽에서 큰 트래픽에 이르는 다양한 요구 사항에 적합합니다.
유량 제어 범위는 정격 만량정의 2~100% 이다


고정밀
■ 고정밀도(점을 기준으로 설정)MFC의 선형 정도는 근사 다항식 커브로 보상됩니다.이를 통해 모든 트래픽 제어 범위를 고정밀도로 제어할 수 있습니다.실제 가스 유량의 정확성을 더욱 높이기 위해 다양한 공정 가스의 교정 데이터는 HORIBA STEC 표준의 가스 측정 시스템에 따라 검사됩니다.

전체 트래픽 제어 범위에서 높은 응답 속도 제공
■ Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response 최신 가변 PID 알고리즘: 1초 고속 응답 SEC-N100 시리즈는 최신 개발된'가변 PID 시스템'을 탑재해 모든 설정점에 대해 1초 이내의 높은 응답 속도를 구현할 수 있다.측정된 전체 스레드와 가스 종류를 변경하면 가변 PID는 현재 설정점에 따라 계속 변경되며 PID 매개변수도 최적화됩니다.

다중 가스, 다중 스레드 솔루션
■ 전용 소프트웨어는 사용자가 자유롭게 사양을 변경할 수 있는 기능 제공최신 다중 가스, 다중 스레드 시스템은 사용자가 가스 종류와 스레드를 자유롭게 변경할 수 있도록 합니다.

원가 고려에 주력하여 새로운 설계 개념을 운용하다
HORIBA STEC은 N100 시리즈의 대안으로 초청정 처리 및 압전 세라믹 밸브를 갖춘 Z500 시리즈 제품도 제공할 수 있다.제품 사양 변경은 공지 없이 생산성 향상이 필요한 일부 부품 및 제품 프로세스를 수정할 수 있습니다.
제품 관련 다이어그램 및 기타