일본 HORIBASTEC-8440F8450 고온 품질 유량 컨트롤러

개요
질량유량계는 기체의 유량을 측정하거나 제어하는 데 사용되는 설비이다.유량은 일반적으로 부피유량과 질량유량으로 나눌수 있지만 기체의 부피는 외계의 온도와 압력의 영향을 받기 쉽다. 만약 정확하게 측정해야 한다면 끊임없이 측정조건을 개변하여 끊임없이 개변되는 외계환경에 배합해야 한다.질량 유량은 기체의 질량을 측정하는 것을 이용하고, 질량은 외부의 환경의 영향을 받지 않기 때문에 고정밀 유량 검측과 제어를 제공할 수 있으며, 반도체 제조 공정에서 광범위하게 사용된다.
피쳐
그것은 압전 밸브를 탑재하여 고온 환경에서 사용할 수 있는 품질 유량 컨트롤러이다.
1.고온에 적용: 150 ℃ 를 만족시킬 수 있는 베이킹
2. 제품 라인업 중 사용 온도를 만족시킬 수 있는 제품 모델
3.초청결 유형: 접기부 전체 스테인리스강 구조
4.MOCVD용 유기금속 재료, 저증기압 재료, 부식성 가스에 가장 적합한 유량 제어
사양

SEC-8340SL에는 바디 가온 히터가 탑재되어 있다
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 80~100℃

SEC-8340SM 본체 가열 히터 장착
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0%F.S.(만량정)  사용온도: 100~120℃

SEC-8440LSL의
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 15 ~ 35 ℃

SEC-8450LSL의
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	10/20 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 15 ~ 35 ℃

SEC-8455LSL의
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	30/50 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 15 ~ 35 ℃

SEC-8460LSL의
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	50/100의 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 15 ~ 35 ℃

SEC-8440LSM의
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 35~60℃

SEC-8450LSM의
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	10/20 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 35~60℃

SEC-8455LSM의
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	30/50 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 35~60℃

SEC-8460LSM의
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	50/100의 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 35~60℃

SEC-8440LSH는
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 60~80℃

SEC-8450LSH는
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	10/20 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 60~80℃

SEC-8455LSH는
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	30/50 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 60~80℃

SEC-8460LSH는
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	50/100의 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 60~80℃

SEC-8440SL
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 80~100℃

SEC-8450SL
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	3/5/10의 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 80~100℃

SEC-8455SL
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	10/20 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 80~100℃

SEC-8460SL
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	20/30/50의 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0% F.S.(만량정)  사용온도: 80~100℃

SEC-8440SM
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0%F.S.(만량정)  사용온도: 100~120℃

SEC-8450SM
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	3/5/10의 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0%F.S.(만량정)  사용온도: 100~120℃

SEC-8455SM
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	10/20 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0%F.S.(만량정)  사용온도: 100~120℃

SEC-8460SM
가스 접촉부 재질	SUS-316L의
밸브 유형	NO: 전원이 켜져 있지 않은 경우: 켜짐
표준 트래픽 스레드	20/30/50의 SLM
트래픽 제어 범위	2~100% F.S.(만체)
유량 정밀도	±1.0%F.S.(만량정)  사용온도: 100~120℃

제품 관련 다이어그램 및 기타