개요 SEC-8000F/D 시리즈는 고온 환경에서 작동할 수 있으며, 초청정 상황에서 백만분의 1 수준의 초소형 트래픽의 분석과 제어를 실현하여 복잡하고 변화무쌍한 반도체 공정 수요를 만족시킬 수 있다.그리고 HORIBA 그룹은 고객에게 전체 제품군을 제공할 수 있다는 것을 자랑스럽게 생각합니다. 피쳐 1.디지털 유량계의 높은 정밀도 성능 - 높은 제어 정밀도: ±1.0% 설정 유량. 2. 초고속 응답 3. 초청정 처리 4. RoHS 환경 기준 충족 제품 관련 다이어그램 및 기타