HMDS 진공 건조기

HMDS 오븐,HMDS 진공 건조기제품 적용: 웨이퍼 고르게 접착제 앞판은 끈적임을 돕고,첨부 프로세싱

대부분의 포토레지스트와Si 라이닝의 경우, 그 접착성은 일반적으로 모두 괜찮지만, 광각에서는 일반적으로 사파이어, 질화갈륨, 비화갈륨 심지어 귀금속 박막 등의 라이닝을 사용하는데, 이러한 라이닝과 포토레지스트의 접착성은 종종 그다지 이상적이지 않으며, 이는 후속 광각 현상 단계에서"균열"심지어 표백 접착제 등의 문제를 초래할 수 있다.그러므로 반드시 공예수단을 통해 개선해야 한다. 이 절차를 우리는 증부처리 또는 점착보조라고 한다.

석영, 유리 또는 실리콘 표면의 산화물 (자연산화) 형태로 존재하는 이산화규소 및 대부분의 금속은 대기 중에 노출되어 일정한 하습도가 충분히 긴 시간 후에 그 표면에 극성을 형성한다OH 키.이런 라이닝은 친수성이기 때문에 포토레지스트의 비극성이나 저극성 수지 분자에 비교적 나쁜 친화력을 가지고 있다.이러한 라이닝 표면이 소수성을 가지도록 화학적 방법으로 HMDS와 같은 비극성 분자를 그 표면에 부착할 수 있다.

HMDS는 Si 원자와 무산소 표면에서 결합하고 산화기 표면의 산소 원자 (필요한 경우 OH 기단 분해) 와 결합하여 암모니아를 방출합니다.비극성 메틸은 라이닝 표면을 직접 격리하여 소수 표면을 형성하며, 포토레지스트와 양호한 윤습성과 부착력을 가지고 있다.

HMDS 진공 건조기작동 방식:

실온에서,HMDS 증기는 건조된 질소를 통해'거품기'에서 운반된 뒤 가열된 (75-120°C) 기질로 전달돼 라이닝 표면에 HMDS가 단층막으로 화학적으로 결합된다.

하면, 만약, 만약...HMDS는 라이닝 바닥에 직접 회전하여 도포되며, HMDS 층은 물리적인 접착층 역할만 할 수 있을 뿐 접착성을 개선할 수 없다;둘째, HMDS 층은 전면 건조 과정에서 암모니아를 방출하여 라이닝 부근의 교련으로 들어가는 포토레지스트 층에서 현상 과정을 제어한다.

제품 특징:

모양새 구조:

★ 케이스는 A3 냉간 압연 강판으로 재단, 다듬기, 산세척, 인화 등 표면 녹 방지 처리 후 구운 페인트를 사용하고, 작업실은 SUS316 # 청정 스테인리스 강판 만용접, 내고온 밀봉 처리, 강화형 구조로 상자의 고압에 변형이 없도록 확보한다.

★ 스튜디오의 높은 기밀성, 가스 누출량은 100pa/h에 달한다.

★ 이중 방폭 강화 유리 관측창, 10mm 방폭 유리 내문.

★ 단열층은 100mm 두께 100K 고밀도 규산 알루미늄 섬유 보온재를 사용하여 보온 효과가 좋다.

★ 문틀 밀봉은 무불소 실리콘 고무 밀봉 막대를 사용하여 고온에 견디고 노화에 강하다.

온도 제어 시스템:

★ 스테인리스 스틸 이성 히터, 스튜디오 외벽 주위, 사방 가열.

★ 7인치 휴먼 컴퓨터 인터페이스, PLC + PID + SSR 제어, SSR 무접점 등 주기 펄스 폭 조정, PID 스마트 연산, 자동 항온, 초온 억제, 센서 단선 경보, 단전 기억, 온도 제어 정확, 조종 간편.

★ 프로세스별로 다양한 작동 모드 설정 가능

★고정밀PT100 스테인리스 스틸 갑옷 백금 저항 온도 센서

보안 시스템:

★ 키 잠금

★ HMDS 액위 경보

★ 초온 보호

★ 전류 과부하 보호

★ 순차 보호

★ 누전 보호

★ 접지 보호

사양 매개 변수: