HMDS 증착기

HMDS 증착기주요 기술 지표:

1、Room 크기: 250×250×250mm (W×D×H)

2、캐비티 재료:SUS316;

3、외부 프레임 재료:Q235A，표면 플라스틱 분사 처리;

4、가공소재 배치:2층;

5、가열 방식: 강체 하부 및 양측 가온, 가열기 외장;

6、작업실 온도 범위: 상온~ +200℃ ；

7、온도 해상도:0.1℃；

8、온도 변동:±0.5℃；

9、냉각 방식: 난로에 따라 자연 냉각；

10、真空度：≤133Pa, 진공 시간 도달≤10분；

11、약액 용기:1조, 용기 재질: 고붕소 실리콘 유리;

12、전기 소스:220V \50±0.5Hz;

13、공로 율: 3kw의；

HMDS 증착기상자 구조:

1、 구조형태: 전체형 사각형 스테인리스강 내담구조,강체부분, 진공 시스템, 전기 제어 시스템 구성.전기 제어 시스템이 상자에 있음상단운영 및 보안을 용이하게 합니다.

시험상자 작업실 압력받이 방식은 내부 압력받이 방식,양질의 스테인리스 강판을 압력받이 상자체로 채택하다.(즉, 작업실), 냉각 속도와 온도 제어의 민감도를 보장하고, 작업실이 저기압 상태에서 비교적 좋은 온도 균일성을 보장한다.작업실 외부에 케이스를 설치하고세라믹 섬유 인슐레이션 채우기, 보온 성능을 증가시키고 전체 시험상자의 성능을 보장한다;강체내공2층층판。

2. 상자 내부 벽 재료: 스테인리스 강판 (SUS316);

3. 난로문 밀봉: 난로문의 밀봉은 맞춤형 치맛자락 실리콘 고무 밀봉 막대를 사용한다;

4. 작업실 내 담외벽 용접에 강화근이 있다;

5. 상자 밑부분에 설치땅발.

진공 시스템

1. 진공 펌프:드라이 펌프

2. 진공 보조 부품: 주요 진공 보조 부품은 모두 수입 양질의 부품을 선택한다, 예를 들면: 압력 센서, 진공 방기 전자 밸브

3. 업무 스트레스: 숫자 표시.

HMDS 보액 시스템

1. SUS316 커버；

2. 고붕소규소 적재 용기；

3. 액체 부족 경보: 부구 액위계；

4, 1 개의 약액 탱크, 1 개의 파이프

제어 시스템:

1. 온도 측정: 양질의 갑옷 K 분도 열전지;

2. 압력 측정: 압력 센서, 그 구조는 교체하기 쉽고 설치하기 쉽다;

3. 온도 및 압력 제어(인터페이스 그래프는 참조용):

채택7.0인치 컬러 액정 터치식 항온 항압 프로그래밍 컨트롤러, RS232 또는 RS485 컴퓨터 통신 인터페이스 설정, 컴퓨터 저장 기록 기록 데이터, 중국어 인터페이스 연결, 설정 온도, 압력, 상자 내 실제 온도, 압력 편차, 시스템 매개변수, 운행 곡선, 히터 작업 상태 및 초기화 매개변수 비밀번호 잠금 등을 직접 표시할 수 있으며 시험 프로그램 자동 운행 및 PID 매개변수 자체 정정 기능을 갖추고 있다.운행 프로그램의 편성은 휴먼 컴퓨터 대화 방식을 채택하여 설비의 전자동 운행 기능을 실현할 수 있다;

계기 특징:

A. 온습도 PID 조절 및 제어 매개변수 자동 정정 기능이 있습니다.

B.액정 디스플레이를 사용하여 다양한 화면을 표시할 수 있습니다 (실행 화면, 선택 화면, 실행 매개 변수 설정 화면, 설정 매개 변수 설정 화면과 프로그램 매개 변수 설정 화면).

C. 온도는 K분도 열전지 입력을 사용한다.압력 데이터 수집은 압력 센서를 사용합니다.

D.풍부한 임의 연산 기능을 가지고 고품질의 제어를 실현한다;

4、제어 부품은 지멘스, 슈나이더 등 양질의 부품을 채용하여 제어의 신뢰성을 보장한다.

5. 초온 보호 음광 경보 장치와 자동 단전 보호 장치를 설치하여 설비가 안전하게 운행하는 목적을 달성할 수 있도록 한다.

6, 가열 제어 컴포넌트:

보안 조치

1. 안전하고 신뢰할 수 있는 접지 보호 장치;

2. 독립된 작업실 초온 보호(온도 상한 보호);

3. 히터 단락 및 과부하 보호;

장치 사용 조건

1. 전원: AC220V ± 10% V, 50Hz ± 2%, 3.2kva;

2. 사용 환경 온도: 5~35 ℃

3. 환경 습도: ≤ 85% R.H;

4. 공기질량: 고농도 분진 및 부식성 기체가 없다.

십일, 주요 재료 테이블