탁상형 현상기

협상 가능업데이트02/09

모델

제조업체의 성격: 생산자

제품 카테고리

원산지 Place of Origin

온라인 상담

개요

탁상형 현상기 MSD-150D는 주로 노출 후의 현상 공정에 응용된다.이 설비는 주로 현상강 단위, 자동 플랭크 단위, 그리고 액체 공급 시스템, 주축 시스템, 제어 시스템 및 배액 시스템 등으로 구성되며, 전체 기계는 프레임 구조를 채택하고, 겉모습은 거울 스테인리스강이며, 먼지가 없고 입자가 흡착되지 않으며, 작업 방식은 수동 상하편, 자동 현상 공예를 완성한다.

제품 정보

탁상형 현상기MSD-150D: 현상의 균일성과 일치성에 대한 요구가 높은 표면처리공정에 사용되며 규소조각, 인화인듐, 탄화규소, 질화갈륨 등에 적합하다.주로 4, 6인치 웨이퍼 및 네모난 조각에 응용된다.대학교, 연구소 및 기업 고객에게 적합합니다.

본사도 8인치, 12인치 탁상형 현상기를 제공하니 더 많은 기능은 드라이, 배세탁 등 문의하시기 바랍니다.

탁상형 현상기MSD-150D: 현상 유닛 기판은 진공 흡입 추가 사방 베젤 고정 방식을 사용하며, 수입 서보 모터를 사용하여 회전 속도, 가속도, 제어 정밀도가 높고 중복성이 좋다;액체 공급 시스템은 공장 업무나 압력 용기의 직접 액체 공급 방식을 채택한다.

탁상형 현상기MSD-150D 제어 시스템은 터치스크린과 PLC가 모드를 제어하여 장치가 작동하는 동안 각 공정 기능의 실행 상황을 실시간으로 보여준다.자유 레시피 편집, 자유 수정, 편집, 저장, 시용 공정 레시피 조정 등을 실현할 수 있다.

탁상형 현상기기술 사양:

프로젝트

규격

주체

케이스 소재: 광택 스테인리스 스틸

처리 샘플 크기: 6인치 웨이퍼 이내

트레이: PTFE

모터:

회전 속도: 20-3000 R.P.M

손잡이: 자동

작동 인터페이스: 7인치 터치스크린

현상 장치

약액 장치:

그림자 x1(온도 조절 옵션)

DIW x1

제어 시스템

시스템: PLC

인터페이스 사용: 7인치 터치스크린

레시피: 수동 및 자동 모드

프로그래밍: 50그룹 20단계

안전장치

웨이퍼 베어링 디스크 진공 스며들기 보호:

진공 감지:

디지털 설정: 최소 진공값 보호

종료 알림 알림 실행

첨부 파일

진공 펌프 x 1

현상 탱크x1

이온 제거 탱크x1

폐액통 x 1

진공 흡판 x 1

비슷한 제품 추천