가스 질량 유량계

G300질량유량계특징

고정밀, 고해상도 제어

저전력, 전력 <0.5W

20가지 종류의 기본 가스 통합

10가지 혼합 가스 사용자 정의 가능

디지털 제어, RS-485 Modbus RTU 통신 모드

넓은 유량 범위

예열 불필요

설치 방향 제한 없음

높은 반복성과 신뢰성

자체 온도 보상, 보상 범위 0-50 ℃

높은 안정성

소포장 크기측정 및 정밀도 소개

사용 가능한 범위:

最大 0-50slpm은

최소 0-1sccm

상비 측정은 선택 양식을 참조하십시오.

측정 비율: 1000: 1

전체 정밀도: ±0.2%

읽기 정밀도: ±0.8%

반복성: ±0.2% FS

디지털 디자인 소개

G300 시리즈질량유량계표준 고정밀 센서 및측정 및 제어에 필요한 디지털 회로기본 기능이 있습니다.G300 시리즈는 RS-485 표준odbus RTU 통신 모드.RS-485 버스 최대 확장255개의 장치가 동시에 사용됩니다.

응용 분야

기상과 액상 크로마토그래프

반도체 공정

환경 모니터링 장치

미반응장치 및 재료제조시험장치(CVD)

가스 발생기

배기 혼기 시스템