음압 또는 진공 챔버용 가스 질량 유량계 및 MFC

하나,음압 또는 진공 챔버용 가스 질량 유량계 및 MFC 제품 개요:

1. 정밀도가 더 높고 응답이 더 빠르며 네트가 있습니다.

2. 관상 분류, 쉽게 막히지 않는다;

3. 각종 저압과 고압 파이프 및 진공을 뽑는 환경에 적용한다;

4. 예열 시간이 짧고 표류가 적으며 신뢰성이 높다;

5. 아날로그량 입력/출력은 2차 테이블 또는 트래픽 컴퓨터를 사용하여 트래픽을 제어하고 표시할 수 있다;

6, 디지털 통신 RS485/232 Modbus, Profibus, Devicenet 등 프로토콜 선택;

2. 제품 응용:

진공도금/태양광, 수소에너지 등 신에너지/반도체/석유화학정밀화학/전력야금

환경보호/식품포장/생물의약/신소재/공업제작/각종 분석기기/가스배합시스템

셋,음압 또는 진공 챔버용 가스 질량 유량계 및 MFC제품 매개 변수:

전체 범위: 2SCCM~300SLM

정확도: ±0.5% F.S

선형: ±0.5% F.S

반복 정밀도: ±0.2% F.S

응답 시간: 유량계: <0.1s; 트래픽 컨트롤러: <0.2s

숫자: RS232/485, MODBUS 프로토콜

시뮬레이션: 0~5V, 4-20mA, 1~5V

전력 공급: ±15VDC, 24VDC

작동 온도: 0~50 ℃

작동 압력 감소: <0.01Mpa(유량계)

작동 압차: 0.1~0.5Mpa(트래픽 컨트롤러)

내압: 3MPa/10MPa

누수율: 1 × 10-9SCCSHe

온도 계수: ±0.025% F.S/℃

베이스 소재: 스테인리스 스틸

밀봉재질: 불소고무, 네오프렌, 아크릴고무, 폴리테트라불화에틸렌, 플루오로에테르 FFKM/FFPM 등

접두: 3, 6, 1/8', 1/4', 3/8', 1/2'......카드세트, 프랑스, 빨리 꽂기, 보탑 등.

필요한 성능 요구 사항이 위의 성능 요구 사항과 다를 경우 사용자 정의를 소통할 수 있습니다.