전자동 탈착기

협상 가능업데이트02/09

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제조업체의 성격: 생산자

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개요

전자동 탈착기 제품 소개: $n1 장치 이름: 전자동 건식 탈착기 $n2 장치 모델: CGST3100$n3 장치 원리: ICP$n4 웨이퍼 크기 Wafer size: 8 inch (4 또는 6 inch 호환) $n5 웨이퍼 재료 Wafer material: Si 베이스 (다른 재료의 경우 명시)

제품 정보

전자동 탈착기제품 설명:

1 장치 이름: 전자동 드라이 클리너

2 장치 모델: CGST3100

3 장치 원리: ICP

4 웨이퍼 크기 Wafer size: 8 inch(4 또는 6 inch 호환)

5 웨이퍼 재료 Wafer material: Si 베이스(다른 재료의 경우 기재)

전자동 탈착기매개변수:

장치 주체
장치 크기	L1300 × W1190 × H1847mm
장치 무게	800Kg의
장치 전원	AC220V，3P,50/60Hz，5선, 16A
호스트 소프트웨어	윈도우 10
호스트 통신	SECS/GEM은
호스트 하드 드라이브	싱글 / 듀얼
프로세스 캐비티	ICP，단강
재료 상자 유형	개방형(Open cassette)
웨이퍼 단일 처리 용량	한 조각
기계손	3축 (싱글 / 듀얼 옵션)
기계손	Mapping(옵션)
시간당 플롯(WPH)	35매 / 시간 (1분 표준 레시피)
가열판	알루미늄 합금, 온도 조절: 50-250℃
플라즈마 발생 시스템
전원 유형	무선 주파수
전원 공급 장치 전력	0 ~ 1000W
전원 주파수	13.56MHz의
일치기	자동 일치
진공 시스템
프로세스 캐비티	알루미늄 합금
말투	밸브, 공기압
真空管路	완전 스테인리스 파이프 라인 및 고강도 진공 파문관
나비 밸브	전압 제어 정밀도: ± 50 mtorr
진공관로 스위치	코너 밸브, 공기압
진공 펌프	드라이 펌프: 600m3/h
진공계	0.001-10토르
캐비티 진공 스위치	750 트레이
전면 파이프 진공 스위치	100 토레스
가스 시스템
공정 가스 시스템	에어 캐비닛, 모듈식(GAS BOX)
가스 캐비닛 캐비닛 재질	스테인리스강
가스 캐비닛 배기	음압,산배출
공기 캐비닛 구성	필터,수동밸브,유량계,공기밸브,압차계,속도조절밸브,연쇄스위치
기체 노수
기로1	O2 5SLM은
가스 2	N2 1SLM은
기로3	CF4 100SCCM
기로4	4%H2/N2 1SLM
기로5	N2 느린 / 빠른 진공 파괴

더 많은 수요는 전화로 소통할 수 있다.

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