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북경오파동광학기술유한공사
개요
Thermo Scientific Helios 5 Laser 포커스 이온 빔 선글라스는 우수한 능력, 대규모 3D 분석, Ga-free 샘플 제조 및 정밀 미세 가공을 제공합니다.
제품 정보
Thermo Scientific™ Helios™ 5 레이저초점 이온 빔 렌즈우수한 능력, 대체적 3D 분석, Ga-free 샘플 제조, 정밀 미세 가공을 제공합니다.혁신적이고 * 통합된 초속 레이저는 빠른 재료 제거율과 높은 절단면 품질을 제공하며 밀리미터 척도 범위의 나노 해상도에서 비교적 빠른 고품질 아표면 및 3D 표징 장비입니다.
☆ 밀리미터 척도의 단면의 경우 일반적인 Ga + FIB보다 15000배 빠른 재료 제거 속도
☆ 통계 관련 아표면 및 3D 데이터 분석, 더 짧은 시간 내에 더 큰 부피 획득
☆ 반복 가능한 절단 배치가 세 번들과 견본에 일치
☆ 아표면 TEM 슬라이버 또는 블록을 추출하여 깊은 피쳐를 빠르게 표징하여 3D 분석에 사용
☆ 비전도 또는 이온 빔 민감 시료와 같은 도전적인 재료의 높은 통량 처리
☆ 신속하고 간단한 표징 공기 민감 샘플은 영상과 단면 제조에 있어서 서로 다른 기기 사이에서 이동할 필요가 없다
☆ 고품질의 Ga-free TEM 및 APT 샘플 제조 및 *의 고해상도 이미징 기능을 포함한 Helios 5 PFIB 플랫폼의 모든 기능 포함
Thermo Scientific™ Helios™ 5 레이저초점 이온 빔 렌즈 매개변수:
초속 레이저 PFIB
대체적: 2000×2000×1000μm3
큰 빔 흐름: ~1mA(이온 빔 전류와 동일)
커팅 번들 흐름: 74 μA
번들 크기: 15 μm
레이저 통합: 3번들(SEM/PFIB/laser)*은 창고에 통합되어 동일한 접점을 제공합니다.
반복 가능한 컷 위치 및 3D 표식을 구현합니다.
1회 고조파: 파장 1030nm(적외선),, 펄스 지속 시간 <280fs
2차 고조파: 파장 515나노미터(녹색), 펄스 지속 시간 <300fs
전자 광학:
☆ 트리플 번들 일치점 WD = 4mm(SEM/FIB와 동일)
☆ 가변 물안경(전동)
☆ 극화: 수평 / 수직
☆ 펄스 주파수: 1kHz~1MHz
☆ 빔 흐름 위치 정밀도: <250nm
보호 베젤: 자동 SEM/PFIB 보호 베젤
소프트웨어:
☆ 레이저 제어 소프트웨어
☆ 레이저 3D 연속 슬라이스 워크플로우
☆ EBSD 레이저 3D 연속 슬라이스 워크플로우
☆ 레이저 컴파일
보안: 연쇄 레이저 케이스(1급 보안)
