전동광맹

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개요

전동광맹 (NID) 은 설계가 치밀하고 광맹의 공경 크기를 조절할 수 있는 범위가 넓으며 자체 변위 센서가 있어 뛰어난 중복성과 안정성을 확보했다.이 제품은 대기, 고진공 및 초고진공 버전을 제공합니다.

제품 정보

전동광맹(NID)설계가 치밀하고 광맹공경의 크기를 조절할수 있는 범위가 넓으며 자체로 변위센서를 휴대하여 뛰여난 중복성과 안정성을 확보하였다.이 제품은 대기, 고진공 및 초고진공 버전을 제공합니다.

전동광맹(NID)：

개관
구멍 크기 [mm]	0…24
폼 팩터 크기[mm]	56 × 56 × 19
무게[g]	100
定位性能
닫힌 루프 최대 속도 [mm/s]	>3
닫힌 루프 위치 해상도 [um]	<2
단방향 반복 위치 정밀도 [um]	30
옵션
소재	알루미늄 베이스가 표준입니다.강철 받침대 (-ST), 티타늄 기반 (-TI) 옵션균일 흑색 양극 산화 (-BK)
진공 호환 (HV)	1E-6의 mbar
高真空兼容 (UHV)	1E-10의 mbar
자기 없음	요구 사항에 따라 사용자 정의 가능

* 모든 기술 사양 매개 변수는 제품이 지속적으로 개발되고 있으므로 예고 없이 기술 사양을 변경할 수 있습니다.

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