EP급 정류장치

협상 가능업데이트12/18

모델

제조업체의 성격: 생산자

제품 카테고리

원산지 Place of Origin

온라인 상담

개요

EP급 정류장치는 전자특기를 생산하는 핵심설비로, 정밀정류를 통해 정제해 가스 순도를 99.999% 이상으로 만들어 반도체 수요를 충족시킨다.

제품 정보

1. 핵심 정의와 응용 장면

EP급 정류장치, 즉 Electronic Pure급 정류장치는 전자공업을 위해 특별히 설계된 고정밀 가스정제설비이다.이는 여러차례, 정밀한 정류과정을 통해 기체중의 미량의 불순물 (예를 들면 수분, 금속이온, 탄화수소 등) 을 제거하여 최종적으로 기체의 순도를 99.999% (5N) 이상에 도달시키고 일부 장면은 99.9999% (6N) 순도를 실현할수 있다.

주로 반도체 칩 제조, 태양광 전지 생산, 전자 소자 가공 등 분야에 응용되며, 부식, 퇴적 등 핵심 공정에 고순도 전자 특수 가스 (예: 수소, 산소, 암모니아 가스 등) 를 제공하여 제품의 양률과 성능에 직접적인 영향을 미친다.

2. 핵심 작업 원리

"서로 다른 물질의 비등점 차이"의 정류 원리에 기초하여 전자급 생산의 가혹한 요구와 결합하여 프로세스는 세 단계로 나뉜다.

예처리단계: 원료가스는 먼저 려과, 건조 등 예처리를 거쳐 대부분 고체립자와 수분을 제거하여 후속설비가 막히거나 오염되지 않도록 해야 한다.
정밀정류단계: 예비처리후의 기체는 특제정류탑에 진입하여 탑내에서 탑판이나 충전재를 통해 기액접촉면적을 증가시킨다.탑 밑의 가열, 탑 꼭대기의 응축된 순환을 이용하여 기체 중의 휘발성 성분 (목표 기체) 과 휘발성 성분 (불순물) 을 반복적으로 분리하여 점차 순도를 높인다.
후정제단계: 정류탑의 꼭대기에서 산출된 기체를 다시 흡착, 막분리 등 2차정제를 거쳐 미량의 불순물함량을 한층 더 낮추어 최종적으로 EP급기준에 도달한다.

3. 핵심 기술 특징

재질 특수: 정제 수요를 만족시키기 위해 EP급 정류장치가 기체에 접촉하는 부품 (예: 정류탑, 파이프, 밸브) 은 대부분 316L의 스테인리스강 또는 하씨합금을 사용하며 내벽은 전해포광 (EP포광) 을 거쳐 불순물 흡착과 용출을 줄인다.
제어 정확성: 고정밀 온도, 압력, 유량 센서 및 자동 제어 시스템을 갖추고 있으며, 실시간으로 정류 매개변수 (예: 탑 내 온도차 제어 ± 0.1 ℃ 내) 를 조절하여 순도 안정을 확보할 수 있다.
초저누출 설계: 밀봉 구조와 헬륨 질량 분광 누출 검사 기술을 사용하여 누출률을 1 × 10 ⁻ ⁹ Pa · m³/s 이하로 제어하여 외부 불순물이 침투하는 것을 방지한다.

비슷한 제품 추천