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제품 카테고리
속온기기(상해)유한공사
개요
ADEPT-1010은 얕은 반도체 주입 및 절연 필름의 자동 분석을 위해 설계되었으며 대부분의 반도체 개발 및 지원 실험실에서 일반적으로 사용되는 도구입니다.최적화된 이차이온 수집 광학 시스템과 초고진공 설계를 통해 박막 구조 검측에서의 혼합 성분과 흔한 불순물에 필요한 민감도를 제공한다.
제품 정보
다이내믹 세컨더리 이온 질량분석기(Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry·약칭 D-SIMS)는 고체 재료 성분 분석을 위한 고감도 표면분석 기술이다.
ADEPT-1010은 얕은 반도체 주입 및 절연 필름의 자동 분석을 위해 설계되었으며 대부분의 반도체 개발 및 지원 실험실에서 일반적으로 사용되는 도구입니다.최적화된 이차이온 수집 광학 시스템과 초고진공 설계를 통해 박막 구조 검측에서의 혼합 성분과 흔한 불순물에 필요한 민감도를 제공한다.
작동 방식:
동적 이차 이온 스펙트럼은 초점이 맞춰진 고에너지 1차 이온 빔 (예: O₂⁺, Cs⁺, Ar⁺ 등) 을 사용하여 샘플 표면을 폭격하여 샘플 표면의 원자나 분자가 튀어나오게 한다.이 과정에서 부분적으로 튀어나온 입자는 전기를 띠고 이차이온을 형성한다.이러한 이차이온은 수집되어 질량분석기로 전송되어 분석되며, 질량분석으로 샘플의 화학적 구성과 원소 분포를 확인할 수 있다.
